本發(fā)明提供一種精準(zhǔn)推進(jìn)探針的方法,該方法能夠?qū)Ρ∧みM(jìn)行無損測量,尤其適用于半導(dǎo)體半導(dǎo)體薄膜,具體地,利用感應(yīng)收縮簧的感應(yīng)端超出導(dǎo)電彈性針頭的一定距離進(jìn)行測距,并根據(jù)測距結(jié)果控制推進(jìn)速度和時間,且能夠監(jiān)測到探針與納米級厚度薄膜的接觸應(yīng)力大小。該探針方法適合對半導(dǎo)體半導(dǎo)體薄膜進(jìn)行無損、穩(wěn)定、可重復(fù)的準(zhǔn)確檢測,同時也適合推廣到其它薄膜材料的電學(xué)檢測。
聲明:
“精準(zhǔn)推進(jìn)探針的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)