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光電器件界面缺陷表征方法及裝置

718 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:58:43

本發(fā)明涉及一種光電器件界面缺陷表征方法及裝置，解決了現(xiàn)有技術中光電器件界面處缺陷不能無損檢測的技術問題。本發(fā)明的方法包括：建立待測光電器件的等效電路模型；在設定的直流偏壓下，根據設定的溫度范圍及溫度步長，在每個溫度下，變化待測光電器件兩端交流電壓的角頻率，利用所述等效電路模型，獲取所述光電器件總電容隨所述角頻率變化的測試曲線，得到不同溫度下的特征頻率；根據所述不同溫度下的特征頻率，線性擬合得到直線斜率；根據所述直線斜率，獲取所述光電器件的激活能和俘獲界面，根據所述激活能和俘獲界面表征光電器件的界面缺陷，實現(xiàn)對光電器件的無損檢測。

聲明：

“光電器件界面缺陷表征方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)