本發(fā)明公開了基于表面高度信息的陶瓷材料微觀組織表征方法及系統(tǒng),包括:對陶瓷及陶瓷基
復(fù)合材料進(jìn)行切割取樣后,通過對切割面進(jìn)行預(yù)處理,獲得陶瓷樣品;采集陶瓷樣品的待測微區(qū)表面的三維形貌信息,通過放大、校平等步驟進(jìn)行處理后,獲取表面三維形貌的高度信息;基于高度信息,生成待測微區(qū)表面的微觀組織特征;本發(fā)明無需對不導(dǎo)電陶瓷基復(fù)合材料表面噴金/碳/鉑、無需抽真空、避免了掃描電鏡電子束與材料表面物質(zhì)作用產(chǎn)生微損傷和反應(yīng),即可以通過無損方法獲得陶瓷基復(fù)合材料微觀組織結(jié)構(gòu)表征,通過檢測陶瓷組成相磨損高度信息差異并投射為二維圖像,具有原理創(chuàng)新性以及良好的襯度和表征效率。
聲明:
“基于表面高度信息的陶瓷材料微觀組織表征方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)