一種雙模靜電超聲傳感器,也稱為雙模電容超聲傳感器。它是由許多子傳感器在同一平面上排列構(gòu)成的陣列。子傳感器具有典型的膜片-氣隙結(jié)構(gòu),其振動(dòng)膜片作為活動(dòng)電極板,背板作為固定電極板,構(gòu)成電容器。其特征是子傳感器的振動(dòng)模片、側(cè)壁和背板圍成一個(gè)密閉腔體,密閉腔體內(nèi)填充有氣體。它可以是常規(guī)機(jī)械加工的,也可以是微加工的。本實(shí)用新型可以有效工作在兩個(gè)共振頻率,具有兩個(gè)工作模式。較之現(xiàn)有的單模式傳感器,雙模靜電超聲傳感器可形成更寬的帶寬,更大的動(dòng)態(tài)范圍,更高的聲發(fā)射功率和聲接受靈敏度。這種傳感器可應(yīng)用于機(jī)器人定位、導(dǎo)航,液面位置和涂層厚度測(cè)量,無(wú)損檢測(cè)、水聲和生物醫(yī)學(xué)超聲成像。
聲明:
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