本發(fā)明涉及一種精密氣浮平臺,屬于運輸裝置技術(shù)領(lǐng)域,氣浮平臺包括一個或多個相互平行的支承表面,支承表面包括正壓單元和負壓單元;正壓單元包括壓力出口,壓力出口提供加壓氣體,且用于產(chǎn)生支承被承載物的支承氣膜;負壓單元包括壓力入口,壓力入口提供低于環(huán)境壓力的壓力值,產(chǎn)生與支承氣膜相反的吸附壓力;每一個正壓單元和負壓單元的周圍圍繞有大氣連通槽,大氣連通槽局部排出所述壓力出口的質(zhì)量流量或局部提供壓力入口的質(zhì)量流量,使所述大氣連通槽處的壓力保持為環(huán)境壓力。通過采用上述技術(shù)方案,能讓薄型柔性物體穩(wěn)定、可靠、無接觸地懸浮于氣浮平臺上,實現(xiàn)低摩擦、高精度、無損、高效的支承、運輸、檢測和加工處理。
聲明:
“精密氣浮平臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)