本發(fā)明提供一種同時(shí)激發(fā)縱?橫波的ZnO壓電涂層材料的制備方法,包括在基體上依次形成結(jié)合層、ZnO壓電涂層、保護(hù)層和電極層;其中,ZnO壓電涂層的制備方法包括:真空條件下,采用Zn靶材或ZnO靶材,通過(guò)磁控濺射在所述結(jié)合層表面形成ZnO壓電涂層;所述磁控濺射中,通入氬氣與氧氣的混合氣體;所述混合氣體中,氬氣與氧氣的流量比為2:1~1:3。本發(fā)明還提供一種基于上述制備方法制得的ZnO壓電涂層材料,ZnO壓電涂層在基體表面呈現(xiàn)不同的取向,具有能夠同時(shí)被超聲波的橫波和縱波激發(fā)的特性。本發(fā)明還提供一種智能螺栓,其表面設(shè)有上述ZnO壓電涂層材料,能夠同時(shí)被超聲波橫波和縱波激發(fā),進(jìn)而能夠簡(jiǎn)化預(yù)緊力計(jì)算步驟,易于實(shí)現(xiàn)螺栓預(yù)緊力的高精度無(wú)損測(cè)量。
聲明:
“同時(shí)激發(fā)縱-橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法與應(yīng)用” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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