一種失效檢測(cè)方法以及失效分析裝置,用于檢測(cè)導(dǎo)電體上的缺陷,所述失效檢測(cè)方法包括:在待測(cè)導(dǎo)電體上設(shè)置至少兩個(gè)輸出端,且所述輸出端電勢(shì)位相等;依次向所述待測(cè)導(dǎo)電體上沿預(yù)定路徑排列的檢測(cè)點(diǎn)輸入恒定的檢測(cè)電流;檢測(cè)各輸出端的輸出電流;基于各檢測(cè)點(diǎn)的位置信息以及各輸出端的輸出電流信息,建立輸出端輸出電流與檢測(cè)點(diǎn)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系;根據(jù)所述對(duì)應(yīng)關(guān)系判定檢測(cè)點(diǎn)是否存在缺陷。本發(fā)明所提供的失效檢測(cè)方法,能夠精確進(jìn)行缺陷定位;并且使用帶電粒子束作為檢測(cè)電流源以避免照射點(diǎn)的尺寸限制,滿足了小尺寸失效分析的需求。
聲明:
“失效檢測(cè)方法以及失效檢測(cè)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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