本發(fā)明涉及一種二極管失效分析裝置及其對(duì)二極管分析方法。它包括本體、儲(chǔ)物柜、排污管、水池、抽風(fēng)擋板、進(jìn)水管、電熱爐，本體上端中間開(kāi)有工作空間，工作空間內(nèi)側(cè)斜上方裝有抽風(fēng)擋板，工作空間中間一側(cè)有進(jìn)水管裝在本體內(nèi)側(cè)，工作空間下端一側(cè)開(kāi)有水池，抽風(fēng)擋板是傾斜安裝在本體內(nèi)部上端，抽風(fēng)擋板與本體內(nèi)部上端之間是鏤空空間，鏤空空間下端連接排污管，鏤空空間上端有抽風(fēng)口，抽風(fēng)口上端裝有抽風(fēng)機(jī)，抽風(fēng)機(jī)上端連接排氣管，排氣管另一端連接通往廢氣收集機(jī)構(gòu)。優(yōu)點(diǎn)是裝置設(shè)計(jì)巧妙，使用方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，安全可靠，采用側(cè)吸式解決了氣體上沖或者冷凝液滴下問(wèn)題，排出氣體通過(guò)廢氣回收裝置回收，保護(hù)環(huán)境，提高工作效率。