本發(fā)明公開了一種基于連續(xù)激光源的集成電路失效定位系統(tǒng)及方法,包括:基于紅外激光器照射待測電路樣品,獲取所述待測電路樣品的掃描數(shù)據(jù);基于紅外相機對所述待測電路樣品進行拍照,獲取電路布局圖;將所述掃描數(shù)據(jù)與所述電路布局圖進行對照,獲得失效定位點。本發(fā)明解決了集成電路阻性失效的失效點定位問題,實現(xiàn)了集成電路阻性失效和晶體管柵極破損的精確、快速定位。提高了集成電路失效定位的測試效率和定位精度,為集成電路失效分析的研究提供了技術(shù)支持。
聲明:
“基于連續(xù)激光源的集成電路失效定位系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)