本發(fā)明實施例提供了一種低可靠性失效管芯的標注方法和裝置,該方法包括:根據(jù)第一晶圓圖獲取若干第一管芯;第一管芯通過預先進行的第一低可靠性失效標注被認定為低可靠性失效,第一低可靠性失效標注基于晶圓功能測試的結(jié)果進行;對若干第一管芯進行可靠性測試,獲得可靠性測試結(jié)果;根據(jù)可靠性測試結(jié)果和所述晶圓功能測試的結(jié)果,確定第二低可靠性失效標注依據(jù)的第一數(shù)值邊界。
聲明:
“晶圓低可靠性失效管芯的標注方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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