本發(fā)明涉及一種基于圖像的失效ESD器件無損表征方法，其特點(diǎn)是采用激光掃描或光發(fā)射顯微技術(shù)對(duì)失效初期器件進(jìn)行漏電路徑定位，以及X射線顯微鏡對(duì)失效后期ESD器件進(jìn)行斷層掃描和3D重構(gòu)，基于圖像的觀測(cè)，對(duì)失效ESD器件進(jìn)行全面的無損表征，得到不同失效階段的原因，以指導(dǎo)器件的優(yōu)化設(shè)計(jì)。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有利用無損的方法得到不同失效階段的原因，找出器件的可靠性問題和設(shè)計(jì)存在的薄弱區(qū)域，從而達(dá)到ESD器件優(yōu)化的結(jié)果，指導(dǎo)器件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，提高ESD器件的可靠性，有效減少系統(tǒng)成本，降低設(shè)計(jì)和布線的復(fù)雜度，尤其適用系統(tǒng)的研究ESD器件內(nèi)在運(yùn)行機(jī)制和需要優(yōu)化的部分，在低壓、高壓集成電路中具有重要的應(yīng)用前景。