本發(fā)明提供了一種聚焦離子束分析方法,包括,步驟一:選擇待分析樣品;步驟二:利用離子束刻蝕所述待分析樣品,以獲得切割截面;步驟三:利用電子束照射觀察是否出現(xiàn)電荷沉積效應(yīng),當(dāng)未出現(xiàn)電荷沉積效應(yīng)時(shí),獲得電子束圖像,當(dāng)出現(xiàn)電荷沉積效應(yīng)時(shí),在所述切割截面的側(cè)面上形成有機(jī)源層之后,重新獲得電子束圖像;步驟四:判斷獲得的電子束圖像是否顯示目標(biāo)截面,當(dāng)電子束圖像顯示非目標(biāo)截面時(shí),重復(fù)步驟二至步驟四,直至獲得目標(biāo)截面;當(dāng)電子束圖像顯示為目標(biāo)截面時(shí),導(dǎo)出獲得的電子束圖像,并進(jìn)行失效分析。本發(fā)明所述方法可避免電荷沉積效應(yīng)對(duì)失效分析結(jié)果的影響。
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