本申請公開了一種磁分析器以及離子注入機,磁分析器包括離子束通道,離子束通道包括飛行區(qū)以及合圍形成飛行區(qū)的第一內(nèi)壁與頂壁,離子束通道包括第一隔板,第一隔板設(shè)置于第一內(nèi)壁和飛行區(qū)之間;其中,第一隔板設(shè)置有多個第一通孔,第一隔板和第一內(nèi)壁之間形成容納空間。本申請不僅能夠大幅降低污染顆粒被攜帶出磁分析器的幾率,繼而有效避免離子注入工藝失效,還能極大延長人工維護周期或備件更換周期,從而有效降低維護成本。
聲明:
“磁分析器以及離子注入機” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)