一種表面顆粒檢測(cè)儀量測(cè)平臺(tái)，包括：定子結(jié)構(gòu)，呈凹型設(shè)置，并在所述定子結(jié)構(gòu)之凹槽內(nèi)形成所述轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)之容置空間，且在所述定子結(jié)構(gòu)之凹槽的邊沿臂內(nèi)設(shè)置所述導(dǎo)電線圈、第一傳感器和偏載磁體；轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，懸浮設(shè)置在所述定子結(jié)構(gòu)之凹槽內(nèi)，且在所述定子結(jié)構(gòu)之磁力作用下發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)；支撐體，設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)之一側(cè)，并用于承載所述待量測(cè)之晶圓；第二傳感器，間隔設(shè)置在所述定子結(jié)構(gòu)之底部。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置定子結(jié)構(gòu)和磁懸浮設(shè)置在所述定子結(jié)構(gòu)內(nèi)的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，且在所述轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)上通過(guò)所述承載體承載所述待量測(cè)晶圓，不僅有效的避免了所述待量測(cè)晶圓的翹曲變形和背面臟污造成真空失效導(dǎo)致的當(dāng)機(jī)，而且提高生產(chǎn)效率，延長(zhǎng)設(shè)備的正常生產(chǎn)時(shí)間。