本發(fā)明提供了一種短路缺陷測試裝置和方法,該裝置包括:若干梳型結(jié)構(gòu)體及兩個(gè)接線端;梳型結(jié)構(gòu)體由若干等間距相互平行的直線型金屬連線和與之相連的金屬導(dǎo)線組成;梳型結(jié)構(gòu)體在兩個(gè)所述接線端之間交替排列,且相鄰梳型結(jié)構(gòu)體的直線型金屬連線相對間插,相鄰所述梳型結(jié)構(gòu)體的金屬導(dǎo)線分別向同側(cè)延伸直到與接線端連接;直線型金屬連線的間插部分的長度范圍是1微米到20微米。在本發(fā)明提供的裝置中采用OBRICH技術(shù)查找短路缺陷時(shí),可以在保持較長總有效長度的條件下,將短路缺陷定位到兩條間插的直線型金屬連線上,不但增加了檢測的靈敏度和定位精確度,而且縮短了后續(xù)使用物理分析手段觀察分析短路缺陷形貌所需的查找時(shí)間,提高了失效分析的效率。
聲明:
“短路缺陷測試裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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