本申請涉及一種針測卡異常判斷方法及裝置。針測卡異常判斷方法通過獲取各量測單元中在相同測試位置的
芯片的單元失效率,并判斷各量測單元在相同測試位置的芯片的單元失效率是否分別滿足第一異常條件。若各量測單元在相同測試位置的芯片的單元失效率滿足第一異常條件,則判斷滿足第一異常條件的各量測單元之間的測試順序是否滿足第二異常條件。若滿足第一異常條件的各量測單元之間的測試順序滿足第二異常條件,則判定針測卡異常。上述針測卡異常判斷方法可以結(jié)合各量測單元中在相同測試位置的單元失效率以及第一異常條件和第二異常條件,實現(xiàn)對針測卡的異常情況的監(jiān)控和分析,從而可以及時對針測卡進行檢修,減少因測試不良導(dǎo)致的良率損失。
聲明:
“針測卡異常判斷方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)