本發(fā)明提供一種流量測(cè)量裝置,用于測(cè)量流過氣體供給系統(tǒng)的氣體的量,多個(gè)器具連接在該氣體供給系統(tǒng)中。根據(jù)第二實(shí)施例的流量測(cè)量裝置包括:配置用于檢測(cè)流過氣體供給系統(tǒng)的氣體流量的流量傳感器、以及配置用于求取所檢測(cè)的氣體流量的微分的微分器。提供存儲(chǔ)器,器具的氣體消耗的概況能夠與器具的身份相關(guān)地存儲(chǔ)在該存儲(chǔ)器中。根據(jù)本發(fā)明的流量測(cè)量裝置還包括第一概況探測(cè)器,該第一概況探測(cè)器響應(yīng)于微分氣體流量以從所存儲(chǔ)的概況中搜索對(duì)應(yīng)于所檢測(cè)的氣體流量的概況。該裝置還包括第二概況探測(cè)器,該第二概況探測(cè)器響應(yīng)于第一概況探測(cè)器的失效而從所存儲(chǔ)的概況中找到相應(yīng)的概況,以分析所檢測(cè)的氣體流量,從而確定多個(gè)器具中的至少一個(gè)的身份。
聲明:
“流量測(cè)量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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