本發(fā)明公開(kāi)了基于EMMI的化合物半導(dǎo)體器件直流測(cè)試系統(tǒng)，包括測(cè)試夾具、源極直流電源、柵極直流電源、漏極直流電源和EMMI平臺(tái)；化合物半導(dǎo)體器件裝配在測(cè)試夾具中，EMMI平臺(tái)采集化合物半導(dǎo)體器件在不加電情況下的背景噪聲信號(hào)；然后采用源極、柵極和漏極直流電源通過(guò)測(cè)試夾具使得化合物半導(dǎo)體器件處于不同工作狀態(tài)，同時(shí)EMMI平臺(tái)采集化合物半導(dǎo)體器件的光信號(hào)，并扣除背景噪聲信號(hào)，生成化合物半導(dǎo)體器件在工作狀態(tài)下的EMMI分析圖，并分析化合物半導(dǎo)體器件是否失效，根據(jù)EMMI分析圖對(duì)失效的化合物半導(dǎo)體器件失效部位定位。本發(fā)明創(chuàng)新性的將器件的直流工作狀態(tài)與電致發(fā)光原理相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)化合物半導(dǎo)體器件的測(cè)試。