一種電遷移測試裝置、電遷移測試系統(tǒng)及其測試方法,其中電遷移測試裝置包括:用于實(shí)現(xiàn)與所述待測結(jié)構(gòu)的電連接的連接金屬層;用于向所述待測結(jié)構(gòu)施加測試電壓的加載電極;用于獲得所述待測結(jié)構(gòu)在測試條件下感測電壓的感測電極;用于對(duì)所述待測結(jié)構(gòu)進(jìn)行加熱的加熱器件。本發(fā)明通過獨(dú)立的加熱器件使所述待測結(jié)構(gòu)的溫度達(dá)到所述測試條件,從而使溫度對(duì)所述待測結(jié)構(gòu)的電遷移的影響與電流對(duì)所述待測結(jié)構(gòu)電遷移的影響分開,能夠提高所獲得的所述待測結(jié)構(gòu)的激活能和電流密度指數(shù)的準(zhǔn)確性,進(jìn)而提高所獲得的所述待測結(jié)構(gòu)在工作情況下失效時(shí)間的準(zhǔn)確性,有效提高電遷移測試的準(zhǔn)確性。
聲明:
“電遷移測試裝置、電遷移測試系統(tǒng)及其測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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