本申請(qǐng)涉及一種GaN器件的可靠性測(cè)試方法、裝置和系統(tǒng)?？煽啃詼y(cè)試方法通過獲取GaN器件的瞬時(shí)電流曲線；其中，瞬時(shí)電流曲線為GaN器件經(jīng)施加脈沖信號(hào)得到；脈沖信號(hào)為脈沖寬度小于或等于1微秒的信號(hào)?；谒矔r(shí)電流曲線進(jìn)行分析，得到GaN器件的可靠性分析結(jié)果。脈沖寬度小的脈沖信號(hào)可向GaN器件施加短脈沖電應(yīng)力，GaN器件的柵極區(qū)域可以施加較大的瞬態(tài)累加電壓應(yīng)力；同時(shí)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、分析每個(gè)短脈沖電應(yīng)力后GaN器件的電流波形，可獲取器件退化、失效的動(dòng)態(tài)全過程行為。本申請(qǐng)實(shí)施例的測(cè)試方法簡(jiǎn)單、易操作，在短脈沖的條件下，可施加比傳統(tǒng)測(cè)試方法更高的電壓強(qiáng)度，能夠分析器件的可靠性，比對(duì)不同器件結(jié)構(gòu)參數(shù)之間的優(yōu)劣性。