本發(fā)明公開(kāi)了一種利用高溫納米壓痕儀測(cè)量高溫氧化膜內(nèi)應(yīng)力的方法。本發(fā)明利用高溫納米壓痕儀,對(duì)被測(cè)試件的表面做壓痕,逐段升溫,同時(shí)利用高溫探針掃描,在線、原位地直接記錄分析被測(cè)試件的表面從平坦到粗糙起伏的轉(zhuǎn)變過(guò)程,同時(shí)根據(jù)表面形貌演化圖像,利用應(yīng)力?表面形貌演化理論,能夠直接計(jì)算獲得微納米尺度的表面氧化過(guò)程中氧化膜內(nèi)部的應(yīng)力,且相對(duì)于常規(guī)的光測(cè)方法而言,該方法步驟簡(jiǎn)單、易于操作,能夠?yàn)椴牧系难趸どL(zhǎng)及失效性能提供直接有效的參數(shù)評(píng)估。
聲明:
“利用高溫納米壓痕儀測(cè)量高溫氧化膜內(nèi)應(yīng)力的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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