本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種測(cè)試結(jié)構(gòu),可以包括第一金屬線、第二金屬線,以及第一金屬線和第二金屬線之間的介質(zhì)層,第一金屬線用于連接第一電壓,第二金屬線用于連接第二電壓,其中,第一金屬線通過(guò)連接入一個(gè)電編程熔絲來(lái)連接第一電壓,和/或,第二金屬線通過(guò)連接入一個(gè)電編程熔絲來(lái)連接第二電壓。第一電編程熔絲和第二電編程熔絲在正常工作時(shí)電阻較小,但是在介質(zhì)層擊穿之后整個(gè)電路回路中產(chǎn)生較大的電流,此時(shí)第一金屬接入的電編程熔絲和/或第二金屬接入的電編程熔絲的電阻驟然變大,此時(shí)的電編程熔絲由于大電阻起到分壓/降電流作用,抑制了電介質(zhì)擊穿處的電流而減弱擊穿損傷,利于后期對(duì)擊穿位置的物理失效分析。
聲明:
“測(cè)試結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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