本發(fā)明提供一種測試氧化膜硅基產(chǎn)品硼元素含量的方法,包括使用二次質(zhì)譜儀檢測一級(jí)標(biāo)樣的離子強(qiáng)度,計(jì)算出RSF值,利用RSF值計(jì)算出樣片一、樣片二和樣片三的硼元素濃度,用已知樣片一、樣片二和樣片三的硼元素濃度除以計(jì)算出的樣片一、樣片二和樣片三的硼元素濃度,得出3個(gè)修正系數(shù),在計(jì)算出修正系數(shù)的平均修正系數(shù),檢測待測樣片的硼離子強(qiáng)度,得出臨時(shí)硼元素濃度,用臨時(shí)硼元素濃度乘以平均修正系數(shù)得出最終待測樣片的硼元素濃度。本發(fā)明的有益效果是有效的解決硼元素含量過多導(dǎo)致產(chǎn)品失效,現(xiàn)有技術(shù)測量元素濃度存在不準(zhǔn)確性,不能保證RSF值是否正確,檢測速度慢的問題。
聲明:
“測試氧化膜硅基產(chǎn)品硼元素含量的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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