本發(fā)明是一種GCT芯片門(mén)/陰極阻斷特性圓周法測(cè)試臺(tái)。采用圓周轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)試方法，設(shè)計(jì)中采用了高精度的三維移動(dòng)平臺(tái)、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和探針座，配以CCD視頻顯微鏡進(jìn)行設(shè)備調(diào)整和測(cè)試過(guò)程監(jiān)控，設(shè)計(jì)的C型機(jī)架和架空平臺(tái)以構(gòu)成較好的人機(jī)操作結(jié)構(gòu)，配以不同規(guī)格專門(mén)設(shè)計(jì)的載片定位夾具滿足不同尺寸芯片測(cè)試需要。該測(cè)試臺(tái)通過(guò)在GCT芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用，在可靠性、檢測(cè)準(zhǔn)確性和高效率等方面滿足規(guī)?；a(chǎn)的測(cè)試需要。本測(cè)試臺(tái)就是為滿足GCT芯片的門(mén)/陰極之間數(shù)千只二極管特性進(jìn)行直流電壓阻斷測(cè)試，以高效、準(zhǔn)確地篩選出個(gè)別失效器件，并做以標(biāo)識(shí)，為后續(xù)工藝修補(bǔ)提供可能性。