本發(fā)明提供了一種電遷移加速測試方法,包括:獲取能消除測試結(jié)構(gòu)焦耳熱的臨界電流密度;預(yù)估測試結(jié)構(gòu)總數(shù);對所述測試結(jié)構(gòu)施加多個低于臨界電流密度的電流進(jìn)行電遷移加速測試使測試結(jié)構(gòu)加速失效,并得到加速失效時間;當(dāng)測試結(jié)構(gòu)加速失效數(shù)量達(dá)到預(yù)設(shè)值時,停止測試,獲取失效測試結(jié)構(gòu)的加速失效時間對累計加速失效率的分布;根據(jù)測試結(jié)構(gòu)的加速失效時間對累計加速失效率的分布計算測試結(jié)構(gòu)的壽命。通過獲取能消除測試結(jié)構(gòu)焦耳熱的電流范圍,再從其中選取多個電流密度對應(yīng)的電流對測試結(jié)構(gòu)進(jìn)行電遷移加速測試,避免了電遷移加速測試中焦耳熱的影響,最終使獲取的測試結(jié)構(gòu)的壽命更加準(zhǔn)確。
聲明:
“電遷移加速測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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