本申請涉及基于半導體測試參數(shù)閾值調(diào)整的數(shù)據(jù)展示方法及裝置,所述方法包括:響應(yīng)于用戶針對至少一個晶圓所選擇的測試參數(shù)及所述測試參數(shù)對應(yīng)的第一閾值范圍,確定所述至少一個晶圓分別在所述測試參數(shù)對應(yīng)的第一閾值范圍內(nèi)的第一良率數(shù)據(jù)和/或所述至少一個晶圓分別針對所述測試參數(shù)的第一失效數(shù)據(jù),所述第一失效數(shù)據(jù)包括所述至少一個晶圓中由于所述測試參數(shù)而失效的裸片的位置;在數(shù)據(jù)可視化界面中展示所述第一良率數(shù)據(jù)和/或所述第一失效數(shù)據(jù)。通過在數(shù)據(jù)可視化界面中展示用戶所選擇的閾值范圍所對應(yīng)的良率和/或失效數(shù)據(jù),使得用戶清晰、直觀地了解到所選擇的閾值范圍對晶圓良率數(shù)據(jù)和/或失效數(shù)據(jù)的影響,進而幫助用戶選擇合適的閾值范圍。
聲明:
“基于半導體測試參數(shù)閾值調(diào)整的數(shù)據(jù)展示方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)