本發(fā)明屬于電子器件監(jiān)測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種功率電子爆炸原位監(jiān)測(cè)方法及裝置。本發(fā)明通過故障激發(fā)模塊激發(fā)功率電子器件發(fā)生爆炸失效，在功率電子器件爆炸失效前后及爆炸失效瞬間，通過電信號(hào)監(jiān)測(cè)模塊實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功率電子器件的電信號(hào)，通過氣體監(jiān)測(cè)模塊實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功率電子器件所處試驗(yàn)腔體內(nèi)部的氣體信息，通過高速圖像捕捉模塊實(shí)時(shí)捕捉功率電子器件的外部畫面，通過高速X射線成像模塊實(shí)時(shí)捕捉功率電子器件的內(nèi)部畫面；通過時(shí)序控制模塊按預(yù)定的時(shí)序和時(shí)間間隔觸發(fā)裝置中各模塊進(jìn)行工作；通過主控模塊控制整個(gè)裝置，并進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、存儲(chǔ)和顯示。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)功率電子器件爆炸失效過程的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。