亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 失效分析技術(shù)

> 芯片制造BEOL互連層界面可靠性測(cè)試簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)和工藝

芯片制造BEOL互連層界面可靠性測(cè)試簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)和工藝

809   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:23
本發(fā)明公開(kāi)了一種芯片制造BEOL互連層界面可靠性測(cè)試簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)和工藝。該簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)包括基板、銅凸點(diǎn)、BEOL金屬互連層、芯片、預(yù)制裂紋和納米探針。該測(cè)試工藝主要是對(duì)服役溫度測(cè)試下的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu),將加載方式簡(jiǎn)化為納米探針剪切銅凸點(diǎn),以達(dá)到測(cè)試簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)的互連強(qiáng)度。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中難以測(cè)試納米級(jí)別互連結(jié)構(gòu)中的凸點(diǎn)和BEOL金屬互連層界面之間的強(qiáng)度,無(wú)法建立壽命失效準(zhǔn)則、壽命預(yù)測(cè)和可靠性問(wèn)題;能夠有效地提高對(duì)微電子產(chǎn)品進(jìn)行可靠性測(cè)試的效率,簡(jiǎn)化工作流程。
聲明:
“芯片制造BEOL互連層界面可靠性測(cè)試簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)和工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
失效分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記