本申請公開了一種MEMS麥克風及其印刷電路板以及MEMS麥克風的測試裝置,該印刷電路板承載用于將聲音信號轉(zhuǎn)換為電信號的微機電結構,并具有連通印刷電路板相對的第一表面與第二表面的多個通孔,多個通孔與微機電結構的位置對應以作為MEMS麥克風的聲孔,其中,多個通孔圍繞印刷電路板的預定區(qū)域排布,預定區(qū)域包括在吹氣測試中用于承受氣流的吹氣測試區(qū),在吹氣測試中,氣流與吹氣測試區(qū)接觸,然后向預定區(qū)域的邊緣分散,進入多個聲孔,從而分散減輕了微機電結構膜片上承受的壓力,進而保護了膜片,降低了膜片因受到較大的氣壓沖擊而引起功能失效問題的概率。
聲明:
“MEMS麥克風及其印刷電路板以及MEMS麥克風的測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)