一種集成電路貯存使用薄弱環(huán)節(jié)識別及工藝改進方法,包括以下步驟:對集成電路貯存使用環(huán)境進行分析,確定貯存使用過程中使用年限主要影響因素;分析主要影響因素作用下的失效模式和失效機理;根據(jù)貯存使用環(huán)境以及失效模式、失效機理的分析結(jié)果,確定對集成電路進行加速壽命試驗所需要的應(yīng)力,對集成電路進行加速壽命試驗;在加速壽命試驗的過程中,選擇測試節(jié)點對集成電路性能參數(shù)進行測試,并抽樣進行質(zhì)量分析,如果失效,則進行失效分析;根據(jù)加速壽命試驗結(jié)果判斷貯存使用年限是否滿足要求,如果不滿足要求,則對貯存使用薄弱環(huán)節(jié)進行識別;根據(jù)識別出的薄弱環(huán)節(jié)針對相應(yīng)制造工藝進行改進。本發(fā)明能夠有效提升產(chǎn)品的質(zhì)量和貯存使用可靠性。
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