本實(shí)用新型提供一種微光顯微鏡裝置,其特征在于,包括:微光顯微鏡、光路裝置、光探測(cè)裝置及探針,其中,所述光路裝置包括呈預(yù)設(shè)夾角的第一光反射面以及第二光反射面,待測(cè)樣品設(shè)置于所述第一光反射面的上方,所述光探測(cè)裝置設(shè)置于所述第二光反射面的上方,所述待測(cè)樣品的激發(fā)光從待測(cè)樣品的背面發(fā)出,并經(jīng)由所述第一光反射面以及第二光反射面反射后,入射至所述光探測(cè)裝置內(nèi)。本實(shí)用新型在待測(cè)樣品不需要做任何調(diào)整的情況下,同時(shí)兼?zhèn)湔鍱MMI分析功能和背面EMMI分析功能,操作方便,適用性廣,有效降低了
芯片失效分析成本并提高分析效率。而且,本實(shí)用新型都是從正面下探針,進(jìn)一步提高了操作的便利性和工作效率。
聲明:
“微光顯微鏡裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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