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樣品固定裝置

955   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-19 09:00:38
本發(fā)明公開了一種樣品固定裝置，用于和樣品承載臺配合使用，樣品承載臺的中間區(qū)域具有第一孔和周側的第一壁體，在第一壁體上形成有多個真空吸孔；樣品固定裝置的主體板具有中間區(qū)域的第二孔和周側的第二壁體，第二壁體的最外側邊緣所圍區(qū)域的尺寸大于真空作用區(qū)域的尺寸；在第二壁體的正面上設置有導電塊；被測試樣品通過熱熔膠固定在第二孔中，被測試樣品的正面上的電極襯墊通過引線和導電塊連接；測試時，各真空吸孔對第二壁體的背面進行真空吸附固定。本發(fā)明能實現對尺寸小于真空吸孔的真空作用區(qū)域的尺寸的被測試樣品進行真空吸力固定并實現測試；能很好的應用于采用SIL鏡頭的樣品失效定位設備中，實現對裸片級的芯片樣品進行失效分析。
聲明：
“樣品固定裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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