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帶加熱單元的微型碳納米管濕度傳感器芯片

1087   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:43
帶加熱單元的微型碳納米管濕度傳感器芯片,涉及的是通過兼容于標(biāo)準(zhǔn)CMOSIC工藝制作微型碳納米管濕度傳感器的技術(shù)領(lǐng)域。解決了目前集成化濕度傳感器普遍存在著在高濕環(huán)境下濕度檢測困難及失效問題。它由硅襯底層、二氧化硅外延層、叉指電極結(jié)構(gòu)的金屬一層、多個(gè)焊盤窗口、多個(gè)多晶硅電阻、多個(gè)多晶硅電阻連線的金屬二層、電源輸入接口、鈍化層、碳納米管濕度敏感薄膜構(gòu)成;碳納米管濕度敏感薄膜的覆蓋工藝為不損害芯片的濺射工藝、絲網(wǎng)印刷工藝或者懸涂工藝;上述所有層結(jié)構(gòu)及多個(gè)多晶硅電阻結(jié)構(gòu)都是用CADENCE版圖繪制軟件,通過標(biāo)準(zhǔn)CMOSIC工藝制作;本發(fā)明能在高濕環(huán)境下對(duì)室溫條件下的濕度進(jìn)行長期穩(wěn)定、高速準(zhǔn)確的檢測。
聲明:
“帶加熱單元的微型碳納米管濕度傳感器芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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