本發(fā)明提供了一種獲取高清晰聚焦離子束加工截面圖像的方法,該方法包括以下步驟:A、將需要進(jìn)行分析的樣品置于聚焦離子束儀中進(jìn)行截面切拋加工,得到樣品截面;B、將樣品從聚焦離子束儀中取出,使用腐蝕液對(duì)樣品進(jìn)行截面腐蝕;C、將樣品截面進(jìn)行沖洗和吹干;D、將樣品放入場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡中,找到截面后傾斜30°~45°,進(jìn)行截面的二次電子像觀察,獲得高清晰的聚焦離子束截面樣品圖像。本發(fā)明有如下優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明方法能夠有效、高質(zhì)量地獲得高清晰的聚焦離子束截面樣品圖像,為失效分析提供結(jié)構(gòu)截面分界清楚的截面形貌信息。
聲明:
“獲取高清晰聚焦離子束加工截面圖像的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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