本發(fā)明公開了一種利用對(duì)稱性雙向劃片的單臺(tái)面高壓可控硅
芯片,包括N?型長(zhǎng)基區(qū)正面的P型短基區(qū)與N+型發(fā)射區(qū)連接成一體,N?型長(zhǎng)基區(qū)背面的背面P型短基區(qū)通過P型對(duì)通隔離環(huán)與正面P型短基區(qū)相連。制造方法:硅片檢驗(yàn)、生長(zhǎng)氧化膜、光刻隔離窗、隔離劃片、雙面注入鋁、隔離擴(kuò)散、雙面注入硼、雙面注入鋁、P型短基區(qū)擴(kuò)散、光刻發(fā)射區(qū)、發(fā)射區(qū)磷擴(kuò)散、光刻鈍化槽、鈍化槽腐蝕、鈍化槽保護(hù)、光刻引線區(qū)、雙面蒸發(fā)電極、光刻反刻區(qū)、合金、測(cè)試、劃切。本發(fā)明解決了焊錫膏焊接時(shí)因溢料導(dǎo)致成品管的電壓失效問題;解決了因樹脂填充不完全出現(xiàn)成品管內(nèi)部空氣擊穿問題;解決了因采用厚片而出現(xiàn)的不銜接,不受控等問題,提高了生產(chǎn)效率和良品率。
聲明:
“利用對(duì)稱性雙向劃片的單臺(tái)面高壓可控硅芯片和制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)