本發(fā)明提供了一種制作透射電鏡樣品的方法,其中,提供一待觀測硅片,待觀測硅片中包括一失效點,包括以下步驟:對待觀測硅片中的失效點進行標記以形成標記區(qū)域;切割待觀測硅片以獲取包含標記區(qū)域的六面體;提供一單晶硅制成的載體硅片,切割載體硅片的上表面,以獲取一凹槽;通過液體膠將六面體與標記區(qū)域相鄰的側(cè)面粘貼于凹槽內(nèi),并使六面體平行于凹槽的邊緣;通過粘貼有六面體的載體硅片及六面體進行切割,以獲得透射電鏡樣品。其技術(shù)方案的有益效果在于,實現(xiàn)提升制作透射電鏡樣品精度,提高透射電鏡樣品制作效率,解決了有技術(shù)中制作透射電鏡樣品易出現(xiàn)失效點打磨過度造成透射電鏡樣品制作失敗的問題。
聲明:
“制作透射電鏡樣品的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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