本發(fā)明揭露一種過(guò)濾制程數(shù)據(jù)的方法及其系統(tǒng),用以過(guò)濾送到一統(tǒng)計(jì)控制模型的制程數(shù)據(jù),以提升該控制模型的性能。該數(shù)據(jù)過(guò)濾器從一組制程數(shù)據(jù)中選取一組樣版數(shù)據(jù)、形成包括該組樣版數(shù)據(jù)以及一組采樣數(shù)據(jù)的一組網(wǎng)格、并計(jì)算出該組網(wǎng)格中的一網(wǎng)格的每一點(diǎn)間的一絕對(duì)距離以及使用該絕對(duì)距離計(jì)算出該網(wǎng)格的一點(diǎn)的一最小累加距離。依據(jù)該點(diǎn)的該最小累加距離,定義出一整體最佳路徑、以及依據(jù)該整體最佳路徑以及一組參考數(shù)據(jù),重新對(duì)應(yīng)該組采樣數(shù)據(jù)以形成一組改變后數(shù)據(jù)。本發(fā)明可將制程數(shù)據(jù)變成與測(cè)量點(diǎn)的一組一致,進(jìn)而提升制程效能。軟件觸發(fā)器失效問(wèn)題也可通過(guò)消除其他晶圓包含的數(shù)據(jù),從異常的晶圓制程中排除。
聲明:
“過(guò)濾制程數(shù)據(jù)的方法及其系統(tǒng)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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