一種改進(jìn)型風(fēng)載荷壓力傳感器包含傳感器殼體、充油敏感體和信號(hào)調(diào)理電路,充油敏感體由呈凹槽的敏感體殼體、硅集成敏感
芯片和密封固定于凹槽口的彈性隔離膜組成,硅集成敏感芯片背壓面環(huán)周通過(guò)固支環(huán)密封固定于凹槽底,硅集成敏感芯片背壓面通過(guò)背壓導(dǎo)氣管與外界氣壓連通,硅集成敏感芯片受壓面具有惠斯通電橋,惠斯通電橋上應(yīng)變電阻通過(guò)內(nèi)引線和引線柱引入到信號(hào)調(diào)理電路后輸出,硅集成敏感芯片非受壓面設(shè)有感溫傳感器、加熱電阻及根據(jù)感溫傳感器控制加熱電阻的恒溫控制電路,彈性隔離膜、凹槽內(nèi)環(huán)面和硅集成敏感芯片受壓面之間填充有硅油,本發(fā)明可以控制充油敏感體溫度,消除充油微壓傳感器受環(huán)境溫度影響而失效問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)風(fēng)載荷的高精度測(cè)量。
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