本發(fā)明公開了一種光敏膠微凝裝置及方法,包括光敏膠容器、控制模塊、設(shè)于所述光敏膠容器上且與所述控制模塊連接的監(jiān)測模塊、抽排模塊和加壓模塊。通過控制模塊控制監(jiān)測模塊中的加熱模塊和抽排模塊進(jìn)行加熱和抽排,使光敏膠中的溶劑揮發(fā)和排出,并通過監(jiān)測模塊中的粘度監(jiān)測模塊進(jìn)行實時監(jiān)測以達(dá)到指定粘度,實現(xiàn)了利用特定初始粘度的光敏膠獲得相對較大的厚度范圍,通過本裝置處理后的光敏膠只需要進(jìn)行一次旋涂,使用少量的光敏膠即可實現(xiàn)目標(biāo)膜厚,提高了旋涂的產(chǎn)率,減少了光敏膠的用量;同時,有效防止多次旋涂的某一層旋涂異常導(dǎo)致的失效,避免了多次旋涂之間點膠時產(chǎn)生氣泡,提高了點膠的成型效率和質(zhì)量,降低了生產(chǎn)成本。
聲明:
“光敏膠微凝裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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