本申請公開一種用于反應(yīng)腔中加熱管的散熱裝置及反應(yīng)腔室,所公開的散熱裝置(100)中,散熱本體(110)用于與加熱管(200)的基座(210)可拆卸連接,且導(dǎo)熱相連,散熱本體(110)內(nèi)設(shè)有流體通道,流體流入部(120)和流體流出部(130)均與流體通道連通,調(diào)節(jié)閥(140)設(shè)置于流體流入部(120)上,溫度測量器(160)設(shè)置于散熱本體(110)與基座(210)的固定連接處,用于測量基座(210)的溫度,且溫度測量器(160)與溫控器(150)的輸入端電連接,調(diào)節(jié)閥(140)與溫控器(150)的輸出端電連接。上述方案能夠解決因燈座溫度過高而導(dǎo)致石英管與燈座之間的石膏密封較容易失效的問題。
聲明:
“用于反應(yīng)腔中加熱管的散熱裝置及反應(yīng)腔室” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)