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閃存存儲器的制造方法

1015 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 09:20:08

本發(fā)明提供一種閃存存儲器的制造方法，通過利用同一低壓化學氣相爐管對多個襯底執(zhí)行低壓化學氣相沉積工藝，在每個所述襯底上形成側墻材料層，可減少多個側墻材料層的形成工藝時間、節(jié)省制程時間以及提高制程效率。在形成側墻材料層之后，測量每個所述襯底上的所述側墻材料層的厚度，以得到每個所述襯底上的所述側墻材料層的厚度與所述側墻材料層的目標厚度的差值，然后根據(jù)每個所述襯底上的所述側墻材料層的厚度與所述側墻材料層的目標厚度的差值，對每個所述襯底上的所述側墻材料層進行濕法刻蝕，使所述側墻材料層的厚度減至所述目標厚度，增大字線的工藝窗口，進而解決因字線工藝窗口的尺寸較小而造成的字線尺寸較小以及編程失效的問題。

聲明：

“閃存存儲器的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)