boe廢液在線再生的方法

技術(shù)領(lǐng)域

1.本發(fā)明涉及廢液回收領(lǐng)域，特別是指一種boe廢液在線再生的方法。

背景技術(shù)：

2.boe(buffered oxide etch)，緩沖氧化物蝕刻液，簡稱“緩沖蝕刻液”。由氫氟酸(hf)與氟化銨(nh4f)依不同比例混合而成。用于半導(dǎo)體元件(例如芯片)的蝕刻，hf主要起蝕刻反應(yīng)作用，nh4f則作為緩沖劑使用；hf與硅反應(yīng)，nh4f固定h+的濃度，使之保持一定的蝕刻率。

3.各工廠的boe配比并不完全相同。6：1的boe緩沖蝕刻液即表示49％hf水溶液與40％nh4f水溶液按照體積比1：6的成分混合而成，hf和nh4f混合后，部分形成氟化氫銨(nh4hf2)。正常情況下，對半導(dǎo)體元件的刻蝕速度約為10nm/sec。

4.當(dāng)boe蝕刻液使用一定時間后，就作為廢液排出，成為boe廢液。

5.boe廢液主要成分為氟化銨(nh4f)和氟化氫銨(nh4hf2)，同時含有少量的氟硅酸銨；屬于危廢！大部分半導(dǎo)體工廠委托有資質(zhì)的危廢處置單位進(jìn)行無害化處理，即：通過加入石灰或消石灰，反應(yīng)成氟化鈣和氨水；有條件的處置單位會回收氨水，氟化鈣成為污泥，作無害化填埋。這種處置方式成本高、污染大、污泥處置費(fèi)用高，關(guān)鍵是資源沒有得到有效利用，是一種得不償失的方法。

6.通過回收處理，可以把boe廢液生產(chǎn)為氫氟酸和氨。

7.boe蝕刻液雖然是由氫氟酸和氨組成，但氫氟酸和氨并不等于是boe蝕刻液；半導(dǎo)體工廠產(chǎn)生的boe廢液只能委托有處理能力的工廠進(jìn)行處理，并且要支付高昂的費(fèi)用。而半導(dǎo)體工廠仍然要從市場采購boe蝕刻液。

8.如果能把boe廢液能重新再生為boe蝕刻液，回到半導(dǎo)體產(chǎn)線，半導(dǎo)體工廠就不再需要支付費(fèi)用委外處理boe廢液，也可大大減低采購boe蝕刻液的成本，不僅節(jié)省了boe廢液和boe蝕刻液的運(yùn)輸成本，還可以使有效氟資源和氨資源得到全面的循環(huán)利用，是利國利民的好事。

9.因此，有必要研發(fā)一種boe廢液在線再生的方法，使boe廢液的有效資源得到全面的、省事的、節(jié)約成本的回收利用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

10.本發(fā)明提出一種boe廢液在線再生的方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中boe廢液處理難以及無法再回到生產(chǎn)線的問題。

11.本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

12.一種boe廢液在線再生的方法，包括：

13.boe廢液與氨反應(yīng)，生成氟化銨溶液；所述氨濃度為nh3≥20％～99.9％；

14.所述氟化銨溶液配制為濃度5～25wt％，經(jīng)過第一雙極膜電滲析膜組分解為氫氟酸稀液和稀氨水；

15.所述稀氨水經(jīng)過汽提蒸出氨氣，并將所述氨氣吸收為濃氨水(nh3≥20～25wt％)；所述濃氨水經(jīng)過高溫高壓蒸氨，得到nh3≥99.0％的液氨；所述液氨中的一部分返回與所述boe廢液反應(yīng)；另一部分液氨精制得到超純氨水；

16.所述氫氟酸稀液經(jīng)過蒸餾濃縮，得到濃氫氟酸；所述濃氫氟酸與濃硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸；冷凝所述氟化氫氣體并精制，得到超純氫氟酸；

17.所述稀硫酸經(jīng)過第二雙極膜電滲析膜組得到超純稀硫酸和廢液；濃縮所述超純稀硫酸得到超純濃硫酸和廢水；所述超純濃硫酸返回與所述濃氫氟酸混合回用；

18.所述超純氫氟酸與所述超純氨水配制為boe原液回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。

19.在一些實(shí)施例中，所述第一雙極膜電滲析膜組或第二雙極膜電滲析膜組的電極液為氫氧化鉀或氫氧化鈉溶液，濃度0.5～1.5mol/l；所述雙極膜電滲析的電流密度為650～900a/m2；所述氫氟酸稀液的濃度為2～6mol/l，所述稀氨水濃度為1～5mol/l。

20.在一些實(shí)施例中，所述氟化銨溶液進(jìn)入第一雙極膜電滲析膜組時的濃度為10～25wt％；當(dāng)經(jīng)過電滲析分解后，氟化銨溶液濃度降低至5～10wt％時，從雙極膜電滲析膜組輸出，濃縮至10～25wt％后，重新返回第一雙極膜電滲析膜組。

21.在一些實(shí)施例中，所述氫氟酸稀液經(jīng)過蒸餾濃縮，得到濃度為25～35wt％的濃氫氟酸；蒸餾濃縮的加熱溫度為65～125℃，壓力為0.05～0.25mpa。

22.本發(fā)明還提出了第二種boe廢液再生的方法，即：

23.一種boe廢液在線再生的方法，包括：

24.boe廢液與堿反應(yīng)，生成氟化鹽溶液和氨水；

25.高溫蒸出氨氣，并將所述氨氣吸收為濃氨水(nh3≥20～25wt％)；所述濃氨水經(jīng)過高溫高壓蒸氨，得到nh3≥99.0％的液氨；所述液氨中的一部分返回與所述boe廢液反應(yīng)；另一部分液氨精制得到超純氨水；

26.所述氟化鹽溶液經(jīng)過第一雙極膜電滲析膜組分解為氫氟酸稀液和稀堿液；

27.所述稀堿液加熱濃縮為濃堿液和廢水，所述濃堿液返回與所述boe廢液反應(yīng)；

28.所述氫氟酸稀液蒸餾濃縮為濃氫氟酸和廢水；所述濃氫氟酸與濃硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸；冷凝所述氟化氫氣體并精制，得到超純氫氟酸；

29.所述稀硫酸經(jīng)過第二雙極膜電滲析膜組得到超純稀硫酸和廢液；濃縮所述超純稀硫酸得到超純濃硫酸和廢水；所述超純濃硫酸返回與所述濃氫氟酸混合回用；

30.所述超純氫氟酸與所述超純氨水配制為boe原液回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。

31.在一些實(shí)施例中，所述堿為氫氧化鉀或/和氫氧化鈉；所述氟化鹽為氟化鉀或/和氟化鈉。

32.在一些實(shí)施例中，所述第一或第二雙極膜電滲析膜組的電極液為氫氧化鉀或/和氫氧化鈉溶液，濃度0.5～1.5mol/l；所述雙極膜電滲析的電流密度為600～950a/m2；所述氫氟酸稀液的濃度為2～6mol/l，所述稀堿液濃度為1～5mol/l。

33.在一些實(shí)施例中，所述氟化鹽溶液進(jìn)入雙極膜電滲析時的濃度為10～25wt％，當(dāng)經(jīng)過電滲析分解后，溶液濃度降低至5～10wt％時，從第一雙極膜電滲析膜組輸出，濃縮至10～25wt％后，重新返回第一雙極膜電滲析膜組。

34.本發(fā)明相比于現(xiàn)有技術(shù)具有以下有益效果：

35.(1)本發(fā)明以boe廢液為起始原料，經(jīng)過一系列處理后得到再生的boe蝕刻液，該

boe蝕刻液可回到半導(dǎo)體產(chǎn)線，半導(dǎo)體工廠就不再需要支付費(fèi)用委外處理boe廢液，也可大大減低采購boe蝕刻液的成本，不僅節(jié)省了boe廢液和boe蝕刻液的運(yùn)輸成本，還可以使有效氟資源和氨資源得到全面的循環(huán)利用，是利國利民的好事。同時該過程中堿液、濃硫酸都進(jìn)行了循環(huán)利用，整個反應(yīng)過程實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)，真正實(shí)現(xiàn)了變廢為寶，循環(huán)經(jīng)濟(jì)，綠色環(huán)保的價值取向，適合工業(yè)化推廣應(yīng)用。

36.(2)本發(fā)明的流程設(shè)計合理，節(jié)能，環(huán)保；同時，其中的電滲析模塊的小循環(huán)又能提高效率。

附圖說明

37.為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施方案或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施方案或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施方案，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

38.圖1為本發(fā)明boe廢液在線再生的工藝流程圖一；

39.圖2為本發(fā)明boe廢液在線再生的工藝流程圖二。

具體實(shí)施方式

40.下面將對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

41.實(shí)施例1

42.將boe廢液995g與氨水68g反應(yīng)完全后，測氟化銨含量為11.9％。導(dǎo)入電滲析實(shí)驗(yàn)設(shè)備，記錄數(shù)據(jù)如下：

43.[0044][0045]

根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)計算后可知，本次實(shí)驗(yàn)電滲析分離氫氟酸的效率為95.2％。

[0046]

實(shí)施例2

[0047]

將boe廢液1000kg與液氨17kg導(dǎo)入氟化銨反應(yīng)釜反應(yīng)，生成氟化銨溶液，待其完全反應(yīng)后，濃縮氟化銨溶液至nh4f≥25wt％。

[0048]

將反應(yīng)液導(dǎo)入第一雙極膜電滲析(edi)膜組，將其分解為氫氟酸稀液和稀氨水；其中，雙極膜電滲析的電極液為氫氧化鉀，濃度1.5mol/l；電流密度為650a/m2。當(dāng)稀氫氟酸濃度為5.7％時輸出。稀氫氟酸在120℃、壓力0.1mpa經(jīng)蒸餾濃縮后，得到30wt％的濃氫氟酸。該濃氫氟酸與98％硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸。冷凝該氟化氫氣體并精制，得到超純氫氟酸。將該超純氫氟酸吸收為49％hf水溶液。

[0049]

將上述稀氫氟酸導(dǎo)入第二雙極膜電滲析(edi)模組，將其分解為超純稀硫酸和廢液，超純稀硫酸經(jīng)蒸餾濃縮后，加入93％的回用硫酸2800kg，保持溫度120℃，產(chǎn)生的氟化氫氣體經(jīng)98％硫酸脫水、冷凝、精餾后得到無水氟化氫產(chǎn)品。產(chǎn)生的稀硫酸經(jīng)加熱濃縮為93％濃硫酸和廢水；93％濃硫酸回用；廢水去污水處理站。

[0050]

當(dāng)稀氨水濃度為4％時輸出；汽提蒸出氨氣，并吸收為25wt％濃度的氨水。該氨水經(jīng)過高溫高壓蒸氨，得到nh3≥99.0％的液氨；液氨中的一部分返回與所述boe廢液反應(yīng)；另一部分液氨精制得到25wt％濃度的超純氨水。

[0051]

上述的氟化銨溶液經(jīng)過電滲析分解后，濃度降低至10％左右時，從雙極膜電滲析膜組輸出，經(jīng)過濃縮后，重新返回雙極膜電滲析膜組，實(shí)現(xiàn)循環(huán)。

[0052]

將上述25wt％濃度的超純氨水與49％hf水溶液按照體積比10:6比例混合，根據(jù)工廠需要加入表面活性劑，得到boe蝕刻液，回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。

[0053]

實(shí)施例3

[0054]

將boe廢液1000kg與氨68kg導(dǎo)入氟化銨反應(yīng)釜反應(yīng)，生成氟化銨溶液，待其完全反應(yīng)后，加純水稀釋氟化銨溶液至nh4f≥10％。

[0055]

將反應(yīng)液導(dǎo)入第一雙極膜電滲析(edi)膜組，將其分解為氫氟酸稀液和稀氨水；其中，雙極膜電滲析的電極液為氫氧化鉀，濃度0.5mol/l；電流密度為900a/m2。當(dāng)稀氫氟酸濃度為12％時輸出。稀氫氟酸在80℃、壓力0.25mpa經(jīng)蒸餾濃縮后，得到25wt％的濃氫氟酸。該

濃氫氟酸與98％硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸。冷凝該氟化氫氣體并精制，得到超純氫氟酸。將該超純氫氟酸吸收為49％hf水溶液。

[0056]

將產(chǎn)生的稀硫酸導(dǎo)入第二雙極膜電滲析(edi)模組，將其分解為超純稀硫酸和廢液，超純稀硫酸經(jīng)加熱濃縮為93％濃硫酸和廢水；93％濃硫酸回用；廢水去污水處理站。

[0057]

當(dāng)稀氨水濃度為4％時輸出；汽提蒸出氨氣，并用超純水多次吸收為25wt％濃度的超純氨水，其一部分返回與boe廢液反應(yīng)。

[0058]

上述的氟化銨溶液經(jīng)過電滲析分解后，濃度降低至5％左右時，從雙極膜電滲析膜組輸出，經(jīng)過濃縮后，重新返回雙極膜電滲析膜組，實(shí)現(xiàn)循環(huán)。

[0059]

將上述25wt％濃度的超純氨水與49％hf水溶液按照體積比10:6比例混合，根據(jù)工廠需要加入表面活性劑，得到boe蝕刻液，回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。

[0060]

實(shí)施例4

[0061]

將998.6gboe廢液與305.5g氫氧化鉀溶液反應(yīng)完全后，導(dǎo)入電滲析實(shí)驗(yàn)設(shè)備，記錄數(shù)據(jù)如下：

[0062]

[0063][0064]

根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)計算后可知，本次實(shí)驗(yàn)電滲析分離氫氟酸的效率為96.4％。

[0065]

實(shí)施例5

[0066]

將1000kgboe廢液與306kg氫氧化鉀溶液導(dǎo)入氟化鉀反應(yīng)釜反應(yīng)，待其完全反應(yīng)后，將反應(yīng)液導(dǎo)入蒸氨釜，汽提蒸出氨氣，用超純水多次吸收為25wt％濃度的超純氨水。將剩余反應(yīng)液導(dǎo)入第一雙極膜電滲析(edi)膜組，將其分解為氫氟酸稀液和稀氫氧化鉀稀液；其中，雙極膜電滲析的電極液為氫氧化鉀，濃度1.0mol/l；電流密度為800a/m2。當(dāng)稀氫氟酸濃度為10％時輸出。反應(yīng)液經(jīng)過電滲析分解后，其氟化鉀濃度降低至5％時，從第一雙極膜電滲析膜組輸出，濃縮至10～25wt％后，重新返回電滲析膜組。將氫氧化鉀稀液導(dǎo)入濃縮釜加熱濃縮，提濃后的氫氧化鉀溶液回用。氫氟酸稀液在溫度為125℃，壓力為0.1mpa的條件下進(jìn)行蒸餾濃縮；得到濃氫氟酸hf≥32wt％。該濃氫氟酸與98％硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸。冷凝該氟化氫氣體并精制，得到超純氫氟酸。將該超純氫氟酸吸收為49％hf水溶液。

[0067]

將產(chǎn)生的稀硫酸導(dǎo)入第二雙極膜電滲析(edi)模組，將其分解為超純稀硫酸和廢液，超純稀硫酸經(jīng)加熱濃縮為超純濃硫酸和廢水，超純濃硫酸回用。

[0068]

將上述25wt％濃度的超純氨水與49％hf水溶液按照體積比10:6比例混合，根據(jù)工廠需要加入表面活性劑，得到boe蝕刻液，回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。

[0069]

實(shí)施例6

[0070]

將1000kgboe廢液與306kg氫氧化鉀溶液導(dǎo)入氟化鉀反應(yīng)釜反應(yīng)，待其完全反應(yīng)后，將反應(yīng)液導(dǎo)入蒸氨釜，汽提蒸出氨氣，用超純水多次吸收為25wt％濃度的超純氨水。將剩余反應(yīng)液導(dǎo)入第一電滲析(edi)膜組，將其分解為氫氟酸稀液和稀氫氧化鉀稀液；其中，雙極膜電滲析的電極液為氫氧化鉀，濃度0.5mol/l；電流密度為700a/m2。當(dāng)稀氫氟酸濃度為17％時輸出。反應(yīng)液經(jīng)過電滲析分解后，其氟化鉀濃度降低至5％時，從電滲析膜組輸出，濃縮至10～25wt％后，重新返回第一電滲析膜組。將氫氧化鉀稀液導(dǎo)入濃縮釜加熱濃縮，提濃后的氫氧化鉀溶液回用。氫氟酸稀液在溫度為125℃，壓力為0.1mpa的條件下進(jìn)行蒸餾濃縮；得到濃氫氟酸hf≥32wt％。該濃氫氟酸與98％硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸。冷凝該氟化氫氣體并精制，得到超純氫氟酸。將該超純氫氟酸吸收為49％hf水溶液。

[0071]

將產(chǎn)生的稀硫酸導(dǎo)入第二雙極膜電滲析(edi)模組，將其分解為超純稀硫酸和廢液，超純稀硫酸經(jīng)加熱濃縮為濃硫酸和廢水，濃硫酸回用。

[0072]

將上述25wt％濃度的超純氨水與49％hf水溶液按照體積比10:6比例混合，根據(jù)工廠需要加入表面活性劑，得到boe蝕刻液，回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。

[0073]

最后應(yīng)說明的是：以上各實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或?qū)ζ渲胁糠只蛘呷考夹g(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。技術(shù)特征：

1.一種boe廢液在線再生的方法，其特征在于，包括：boe廢液與氨反應(yīng)，生成氟化銨溶液；所述氨濃度為nh3≥20％～99.9％；所述氟化銨溶液配制為濃度5～25wt％，經(jīng)過第一雙極膜電滲析膜組分解為氫氟酸稀液和稀氨水；所述稀氨水經(jīng)過汽提蒸出氨氣，并將所述氨氣吸收為濃氨水(nh3≥20～25wt％)；所述濃氨水經(jīng)過高溫高壓蒸氨，得到nh3≥99.0％的液氨；所述液氨中的一部分返回與所述boe廢液反應(yīng)；另一部分液氨精制得到超純氨水；所述氫氟酸稀液經(jīng)過蒸餾濃縮，得到濃氫氟酸；所述濃氫氟酸與濃硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸；冷凝所述氟化氫氣體并精制，得到超純氫氟酸；所述稀硫酸經(jīng)過第二雙極膜電滲析膜組得到超純稀硫酸和廢液；濃縮所述超純稀硫酸得到超純濃硫酸和廢水；所述超純濃硫酸返回與所述濃氫氟酸混合回用；所述超純氫氟酸與所述超純氨水配制為boe原液回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種boe廢液在線再生的方法，其特征在于，所述第一雙極膜電滲析膜組或第二雙極膜電滲析膜組的電極液為氫氧化鉀或氫氧化鈉溶液，濃度0.5～1.5mol/l；所述雙極膜電滲析的電流密度為650～900a/m2；所述氫氟酸稀液的濃度為2～6mol/l，所述稀氨水濃度為1～5mol/l。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種boe廢液在線再生的方法，其特征在于，所述氟化銨溶液進(jìn)入第一雙極膜電滲析膜組時的濃度為10～25wt％；當(dāng)經(jīng)過電滲析分解后，氟化銨溶液濃度降低至5～10wt％時，從第一雙極膜電滲析膜組輸出，濃縮至10～25wt％后，重新返回第一雙極膜電滲析膜組。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種boe廢液在線再生的方法，其特征在于，所述氫氟酸稀液經(jīng)過蒸餾濃縮，得到濃度為25～35wt％的濃氫氟酸；蒸餾濃縮的加熱溫度為65～125℃，壓力為0.05～0.25mpa。5.一種boe廢液在線再生的方法，其特征在于，包括：boe廢液與堿反應(yīng)，生成氟化鹽溶液和氨水；高溫蒸出氨氣，并將所述氨氣吸收為濃氨水(nh3≥20～25wt％)；所述濃氨水經(jīng)過高溫高壓蒸氨，得到nh3≥99.0％的液氨；所述液氨中的一部分返回與所述boe廢液反應(yīng)；另一部分液氨精制得到超純氨水；所述氟化鹽溶液經(jīng)過第一雙極膜電滲析膜組分解為氫氟酸稀液和稀堿液；所述稀堿液加熱濃縮為濃堿液和廢水，所述濃堿液返回與所述boe廢液反應(yīng)；所述氫氟酸稀液蒸餾濃縮為濃氫氟酸和廢水；所述濃氫氟酸與濃硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸；冷凝所述氟化氫氣體并精制，得到超純氫氟酸；所述稀硫酸經(jīng)過第二雙極膜電滲析膜組得到超純稀硫酸和廢液；濃縮所述超純稀硫酸得到超純濃硫酸和廢水；所述超純濃硫酸返回與所述濃氫氟酸混合回用；所述超純氫氟酸與所述超純氨水配制為boe原液回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種boe廢液在線再生的方法，其特征在于，所述堿為氫氧化鉀或/和氫氧化鈉；所述氟化鹽為氟化鉀或/和氟化鈉。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種boe廢液在線再生的方法，其特征在于，所述第一或第二雙極膜電滲析膜組的電極液為氫氧化鉀或/和氫氧化鈉溶液，濃度0.5

～1.5mol/l；所述雙極膜電滲析的電流密度為600～950a/m2；所述氫氟酸稀液的濃度為2～6mol/l，所述稀堿液濃度為1～5mol/l。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種boe廢液在線再生的方法，其特征在于，所述氟化鹽溶液進(jìn)入第一雙極膜電滲析時的濃度為10～25wt％，當(dāng)經(jīng)過電滲析分解后，溶液濃度降低至5～10wt％時，從第一雙極膜電滲析膜組輸出，濃縮至10～25wt％后，重新返回第一雙極膜電滲析膜組。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明提出了一種BOE廢液在線再生的方法，包括：BOE廢液與氨或堿反應(yīng)；再經(jīng)過雙極膜電滲析膜組處理；濃縮并精制為超純氨水；將氫氟酸稀液蒸餾提濃后，與超純濃硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸；稀硫酸用電滲析分離為超純稀硫酸和廢液，再經(jīng)過加熱濃縮為超純濃硫酸和廢水，超純濃硫酸在本系統(tǒng)回用，廢液和廢水去污水處理站；氟化氫氣體提純，得到超純氫氟酸溶液；與超純氨水按照比例配制為BOE原液，加入表面活性劑后，回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。本發(fā)明在線再生BOE廢液，真正實(shí)現(xiàn)了變廢為寶，循環(huán)經(jīng)濟(jì)，綠色環(huán)保的價值取向，適合工業(yè)化推廣應(yīng)用。適合工業(yè)化推廣應(yīng)用。適合工業(yè)化推廣應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：周貞鋒 應(yīng)悅 應(yīng)盛榮 姜戰(zhàn) 聞濤

受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江容躍環(huán)?？萍加邢薰?br />
技術(shù)研發(fā)日：2021.12.03

技術(shù)公布日：2022/3/8