1.本實(shí)用新型屬于
芯片分選設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體的說(shuō),涉及一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī)。
背景技術(shù):
2.隨著芯片的應(yīng)用范圍及功能特性的增強(qiáng),越來(lái)越多的芯片被用在航空航天、汽車(chē)輪船、工業(yè)、以及軍事領(lǐng)域。由于芯片屬于電子元件的核心部件,保證質(zhì)量合格的芯片對(duì)電子元件非常重要,所以需要對(duì)芯片的質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè)。但是,由于芯片的尺寸較小,使得人工檢測(cè)比較費(fèi)時(shí),導(dǎo)致芯片的檢測(cè)效率不高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
3.為了解決上述問(wèn)題,本實(shí)用新型提出了一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī)。采用ccd相機(jī)對(duì)供料盤(pán)上雜亂擺放的芯片的位置進(jìn)行定位和檢測(cè),然后將符合要求的芯片選出,并有序擺放到供料盤(pán)上,有效提高了芯片分選效率,節(jié)省勞動(dòng)力,提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
4.為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型按如下技術(shù)方案實(shí)施的:
5.所述的半導(dǎo)體芯片分選機(jī)包括機(jī)架、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座、擺臂、供料盤(pán)、收納盤(pán)、ccd相機(jī)ⅰ、控制器;所述的機(jī)架中部通過(guò)安裝架懸空轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座,轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座通過(guò)設(shè)置在其上方的電機(jī)ⅰ驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座底部四周滑動(dòng)設(shè)置有至少兩根擺臂,擺臂與轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座之間設(shè)有彈簧ⅰ,擺臂端部設(shè)有吸盤(pán),轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座內(nèi)設(shè)有氣滑環(huán),氣滑環(huán)的進(jìn)氣端通過(guò)管道與
真空泵連接,連接管道上設(shè)有電磁閥,出氣端通過(guò)管道與吸盤(pán)連接;所述的安裝架兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有用于驅(qū)使擺臂向下移動(dòng)的下壓機(jī)構(gòu),安裝架兩側(cè)下方分別設(shè)有供料盤(pán)和收納盤(pán),供料盤(pán)和收納盤(pán)底部分別設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述的安裝架上設(shè)有用于對(duì)供料盤(pán)進(jìn)行拍照的ccd相機(jī)ⅰ;所述的控制器分別與ccd相機(jī)ⅰ、電機(jī)ⅰ、下壓機(jī)構(gòu)、電磁閥、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)電性連接。
6.優(yōu)選的,所述的擺臂有四根,繞轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座圓周方向均勻間隔設(shè)置。
7.優(yōu)選的,所述的下壓機(jī)構(gòu)包括下壓桿、凸輪、電機(jī)ⅱ、彈簧ⅱ;所述的下壓桿滑動(dòng)設(shè)置在安裝架上,下壓桿底部頂住擺臂,頂部與安裝架之間設(shè)有能夠驅(qū)使下壓桿上移的彈簧ⅱ,下壓桿上方設(shè)有能夠驅(qū)使下壓桿向下移動(dòng)的凸輪,凸輪通過(guò)電機(jī)ⅱ驅(qū)動(dòng),電機(jī)ⅱ與控制器信號(hào)輸出端連接。
8.優(yōu)選的,所述的下壓桿頂部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與凸輪相配合的滾輪。
9.優(yōu)選的,所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括線性模組ⅰ和線性模組ⅱ,所述的線性模組ⅱ設(shè)置在線性模組ⅰ上且與線性模組ⅰ相互垂直交叉,線性模組ⅰ和線性模組ⅱ分別與控制器信號(hào)輸出端連接。
10.優(yōu)選的,還包括位于兩個(gè)線性模組ⅰ之間檢測(cè)機(jī)構(gòu),所述的檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括底座、ccd相機(jī)ⅱ、透明板、儲(chǔ)存盒;所述的ccd相機(jī)ⅱ設(shè)置在底座內(nèi),底座側(cè)面上設(shè)有儲(chǔ)存盒,底座頂部設(shè)有向儲(chǔ)存盒方向傾斜的透明板。
11.本實(shí)用新型的有益效果:
12.采用ccd相機(jī)對(duì)供料盤(pán)上雜亂擺放的芯片的位置進(jìn)行定位和檢測(cè),然后將符合要
求的芯片選出,并有序擺放到供料盤(pán)上,有效提高了芯片分選效率,節(jié)省勞動(dòng)力,提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
附圖說(shuō)明
13.為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單的介紹,顯而易見(jiàn),下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
14.圖1是本實(shí)用新型立體結(jié)構(gòu)示意圖;
15.圖2是本實(shí)用新型下壓機(jī)構(gòu)安裝示意圖;
16.圖3是本實(shí)用新型氣滑環(huán)安裝示意圖;
17.圖4是本實(shí)用新型檢測(cè)機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)示意圖;
18.圖5是本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)示意圖;
19.圖6是本實(shí)用新型控制框圖;
20.圖中,1
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機(jī)架、2
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轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座、3
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擺臂、4
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供料盤(pán)、5
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收納盤(pán)、6
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ccd相機(jī)ⅰ、7
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控制器、8
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電機(jī)ⅰ、9
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彈簧ⅰ、10
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吸盤(pán)、11
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氣滑環(huán)、12
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真空泵、13
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電磁閥、14
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安裝架、15
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下壓機(jī)構(gòu)、15
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1下壓桿、15
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2凸輪、15
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3電機(jī)ⅱ、15
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4彈簧ⅱ、15
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5滾輪、16
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驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、16
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1線性模組ⅰ、16
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2線性模組ⅱ、17
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檢測(cè)機(jī)構(gòu)、17
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1底座、17
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2ccd相機(jī)ⅱ、17
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3透明板、17
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4儲(chǔ)存盒。
具體實(shí)施方式
21.為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果更加清楚,下面將結(jié)合附圖,對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明,以方便技術(shù)人員理解。
22.由圖1
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6所示,所述的半導(dǎo)體芯片分選機(jī)包括機(jī)架1、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2、擺臂3、供料盤(pán)4、收納盤(pán)5、ccd相機(jī)ⅰ6、控制器7;所述的機(jī)架1中部通過(guò)安裝架14懸空轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2,作為優(yōu)選,轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2與機(jī)架1采用軸承連接,轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2轉(zhuǎn)動(dòng)靈活,使用壽命長(zhǎng)。轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2通過(guò)設(shè)置在其上方的電機(jī)ⅰ8驅(qū)動(dòng),電機(jī)ⅰ8采用伺服電機(jī),便于控制,轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2底部四周滑動(dòng)設(shè)置有至少兩根擺臂3,擺臂3與轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2之間設(shè)有彈簧ⅰ9,彈簧ⅰ9處于拉伸狀態(tài),用于驅(qū)使擺臂3向上移動(dòng),擺臂3端部設(shè)有吸盤(pán)10,轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2內(nèi)設(shè)有氣滑環(huán)11,氣滑環(huán)11的進(jìn)氣端通過(guò)管道與真空泵12連接,連接管道上設(shè)有電磁閥13,出氣端通過(guò)管道與吸盤(pán)10連接,真空泵12啟動(dòng)時(shí),通過(guò)管道和氣滑環(huán)11為吸盤(pán)10提供吸力,通過(guò)控制電磁閥13的開(kāi)閉,控制吸盤(pán)10是否工作;所述的安裝架14兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有用于驅(qū)使擺臂3向下移動(dòng)的下壓機(jī)構(gòu)15,安裝架14兩側(cè)下方分別設(shè)有供料盤(pán)4和收納盤(pán)5,供料盤(pán)4位于右側(cè),收納盤(pán)5位于左側(cè),供料盤(pán)4和收納盤(pán)5底部分別設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16,所述的安裝架14上設(shè)有用于對(duì)供料盤(pán)4進(jìn)行拍照的ccd相機(jī)ⅰ6,ccd相機(jī)ⅰ6自帶圖片分析軟件,能夠自動(dòng)對(duì)圖像進(jìn)行分析,ccd相機(jī)ⅰ6安裝在安裝架14的右側(cè),與供料盤(pán)4位置相匹配;所述的控制器7分別與ccd相機(jī)ⅰ6、電機(jī)ⅰ8、下壓機(jī)構(gòu)15、電磁閥13、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16電性連接,控制器7采用plc。工作時(shí),將需要整理的芯片放置在供料盤(pán)4中,將芯片的收納板放置到收納盤(pán)5中,ccd相機(jī)ⅰ6對(duì)供料盤(pán)4進(jìn)行拍照并分析,得到供料盤(pán)4內(nèi)的芯片位置、狀態(tài)、完整度,然后將數(shù)據(jù)傳輸給控制器7,控制器7根據(jù)輸入信號(hào),控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16帶動(dòng)供料盤(pán)4移動(dòng),使符合要求的芯片移動(dòng)到吸盤(pán)10的正下方;
然后控制對(duì)應(yīng)側(cè)的下壓機(jī)構(gòu)15驅(qū)動(dòng)擺臂3下移,使吸盤(pán)10吸住符合要求的芯片,然后下壓機(jī)構(gòu)15上移復(fù)位,擺臂3在彈簧ⅰ9的彈性作用下上移復(fù)位,再然后控制器7控制電機(jī)ⅰ8轉(zhuǎn)動(dòng),將擺臂3移動(dòng)至收納盤(pán)5上方,同時(shí)控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16驅(qū)動(dòng)收納盤(pán)5,將芯片需要擺放位置移動(dòng)至吸盤(pán)10正下方;接著控制器7控制對(duì)應(yīng)側(cè)的下壓機(jī)構(gòu)15驅(qū)動(dòng)擺臂3下移,將芯片有效放置到收納板上,最后控制相應(yīng)管道上的電磁閥13關(guān)閉,使吸盤(pán)10失去吸力,放置好芯片后,控制器7控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16復(fù)位,擺臂3復(fù)位。采用ccd相機(jī)對(duì)芯片位置進(jìn)行定位和檢測(cè),能夠直接對(duì)無(wú)序的芯片進(jìn)行選取,使用更加方便;利用多根懸臂同時(shí)分別進(jìn)行芯片的提取和擺放工作,有效提高了芯片分選和擺放的效率,全程由機(jī)械自動(dòng)完成,減少了人工成本的投入。
23.作為優(yōu)選,擺臂3有四根,繞轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座2圓周方向均勻間隔設(shè)置,每一根擺臂3作為一個(gè)工位,使右側(cè)的擺臂3在吸取芯片的同時(shí),左側(cè)的擺臂3同時(shí)將芯片擺放到相應(yīng)的位置,有效提高分選效率。
24.所述的下壓機(jī)構(gòu)15包括下壓桿15
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1、凸輪15
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2、電機(jī)ⅱ15
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3、彈簧ⅱ15
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4;所述的下壓桿15
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1滑動(dòng)設(shè)置在安裝架14上,下壓桿15
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1底部頂住擺臂3,頂部與安裝架14之間設(shè)有能夠驅(qū)使下壓桿15
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1上移的彈簧ⅱ15
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4,下壓桿15
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1上方設(shè)有能夠驅(qū)使下壓桿15
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1向下移動(dòng)的凸輪15
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2,凸輪15
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2通過(guò)電機(jī)ⅱ15
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3驅(qū)動(dòng),電機(jī)ⅱ15
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3與控制器7信號(hào)輸出端連接,電機(jī)ⅱ15
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3采用伺服電機(jī),需要下壓擺臂3時(shí),控制器7控制電機(jī)ⅱ15
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3轉(zhuǎn)動(dòng),電機(jī)ⅱ15
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3帶動(dòng)凸輪15
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2轉(zhuǎn)動(dòng),驅(qū)使下壓桿15
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1向下移動(dòng),下壓桿15
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1驅(qū)動(dòng)擺臂3下移,復(fù)位時(shí),控制器7控制電機(jī)ⅱ15
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3轉(zhuǎn)動(dòng),下壓桿15
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1在彈簧ⅱ15
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4的帶動(dòng)下向上復(fù)位。
25.作為優(yōu)選,所述的下壓桿15
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1頂部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與凸輪15
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2相配合的滾輪15
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5,滾輪15
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5與凸輪15
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2軸向相互垂直,凸輪15
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2轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),使?jié)L輪15
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5沿凸輪15
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2圓周轉(zhuǎn)動(dòng),有效降低凸輪15
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2與下壓桿15
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1之間的摩擦,提下壓桿15
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1及凸輪15
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2的使用壽命。
26.作為優(yōu)選,所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16包括線性模組ⅰ16
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1和線性模組ⅱ16
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2,所述的線性模組ⅱ16
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2設(shè)置在線性模組ⅰ16
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1上且與線性模組ⅰ16
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1相互垂直交叉,通過(guò)線性模組ⅰ16
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1和線性模組ⅱ16
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2,供料盤(pán)4和收納盤(pán)5能夠沿前后左右四個(gè)方向移動(dòng),使得在供料盤(pán)4和收納盤(pán)5內(nèi)所有位置的芯片都能移動(dòng)到吸盤(pán)10的正下方。
27.作為優(yōu)選,所述的半導(dǎo)體芯片分選機(jī)還包括位于兩個(gè)線性模組ⅰ16
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1之間檢測(cè)機(jī)構(gòu)17,所述的檢測(cè)機(jī)構(gòu)17包括底座17
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1、ccd相機(jī)ⅱ17
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2、透明板17
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3、儲(chǔ)存盒17
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4;所述的ccd相機(jī)ⅱ17
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2設(shè)置在底座17
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1內(nèi),底座17
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1側(cè)面上設(shè)有儲(chǔ)存盒17
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4,底座17
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1頂部設(shè)有向儲(chǔ)存盒17
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4方向傾斜的透明板17
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3,擺臂3從供料盤(pán)4上方轉(zhuǎn)動(dòng)至收納盤(pán)5上方過(guò)程中,經(jīng)過(guò)檢測(cè)機(jī)構(gòu)17的正上方時(shí),擺臂3停止,ccd相機(jī)ⅱ17
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2對(duì)吸盤(pán)10上的芯片進(jìn)行拍照并分析后傳輸給控制器7,控制器7根據(jù)輸入信息,判斷出芯片是否符合要求,若芯片損壞,控制器7控制電磁閥13關(guān)閉,將芯片放下,損壞芯片沿透明板17
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3移動(dòng)至儲(chǔ)存盒17
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4內(nèi),且控制器7不在進(jìn)行后續(xù)的芯片擺放工作,通過(guò)二次檢測(cè),對(duì)芯片的底部再次進(jìn)行檢測(cè),有效保證芯片符合要求。
28.采用ccd相機(jī)對(duì)供料盤(pán)上雜亂擺放的芯片的位置進(jìn)行定位和檢測(cè),然后將符合要求的芯片選出,并有序擺放到供料盤(pán)上,有效提高了芯片分選效率,節(jié)省勞動(dòng)力,提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
29.最后說(shuō)明的是,以上優(yōu)選實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制,盡管通過(guò)上述優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的描述,但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理
解,可以在形式上和細(xì)節(jié)上對(duì)其做出各種各樣的改變,而不偏離本實(shí)用新型權(quán)利要求書(shū)所限定的范圍;附圖尺寸與具體實(shí)物無(wú)關(guān),實(shí)物尺寸可任意變換。技術(shù)特征:
1.一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī),其特征在于:所述的半導(dǎo)體芯片分選機(jī)包括機(jī)架(1)、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座(2)、擺臂(3)、供料盤(pán)(4)、收納盤(pán)(5)、ccd相機(jī)ⅰ(6)、控制器(7);所述的機(jī)架(1)中部通過(guò)安裝架(14)懸空轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座(2),轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座(2)通過(guò)設(shè)置在其上方的電機(jī)ⅰ(8)驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座(2)底部四周滑動(dòng)設(shè)置有至少兩根擺臂(3),擺臂(3)與轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座(2)之間設(shè)有彈簧ⅰ(9),擺臂(3)端部設(shè)有吸盤(pán)(10),轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座(2)內(nèi)設(shè)有氣滑環(huán)(11),氣滑環(huán)(11)的進(jìn)氣端通過(guò)管道與真空泵(12)連接,連接管道上設(shè)有電磁閥(13),出氣端通過(guò)管道與吸盤(pán)(10)連接;所述的安裝架(14)兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有用于驅(qū)使擺臂(3)向下移動(dòng)的下壓機(jī)構(gòu)(15),安裝架(14)兩側(cè)下方分別設(shè)有供料盤(pán)(4)和收納盤(pán)(5),供料盤(pán)(4)和收納盤(pán)(5)底部分別設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(16),所述的安裝架(14)上設(shè)有用于對(duì)供料盤(pán)(4)進(jìn)行拍照的ccd相機(jī)ⅰ(6);所述的控制器(7)分別與ccd相機(jī)ⅰ(6)、電機(jī)ⅰ(8)、下壓機(jī)構(gòu)(15)、電磁閥(13)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(16)電性連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī),其特征在于:所述的擺臂(3)有四根,繞轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座(2)圓周方向均勻間隔設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī),其特征在于:所述的下壓機(jī)構(gòu)(15)包括下壓桿(15
?
1)、凸輪(15
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2)、電機(jī)ⅱ(15
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3)、彈簧ⅱ(15
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4);所述的下壓桿(15
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1)滑動(dòng)設(shè)置在安裝架(14)上,下壓桿(15
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1)底部頂住擺臂(3),頂部與安裝架(14)之間設(shè)有能夠驅(qū)使下壓桿(15
?
1)上移的彈簧ⅱ(15
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4),下壓桿(15
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1)上方設(shè)有能夠驅(qū)使下壓桿(15
?
1)向下移動(dòng)的凸輪(15
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2),凸輪(15
?
2)通過(guò)電機(jī)ⅱ(15
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3)驅(qū)動(dòng),電機(jī)ⅱ(15
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3)與控制器(7)信號(hào)輸出端連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī),其特征在于:所述的下壓桿(15
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1)頂部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與凸輪(15
?
2)相配合的滾輪(15
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5)。5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī),其特征在于:所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(16)包括線性模組ⅰ(16
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1)和線性模組ⅱ(16
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2),所述的線性模組ⅱ(16
?
2)設(shè)置在線性模組ⅰ(16
?
1)上且與線性模組?。?6
?
1)相互垂直交叉,線性模組?。?6
?
1)和線性模組ⅱ(16
?
2)分別與控制器(7)信號(hào)輸出端連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī),其特征在于:還包括位于兩個(gè)線性模組?。?6
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1)之間檢測(cè)機(jī)構(gòu)(17),所述的檢測(cè)機(jī)構(gòu)(17)包括底座(17
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1)、ccd相機(jī)ⅱ(17
?
2)、透明板(17
?
3)、儲(chǔ)存盒(17
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4);所述的ccd相機(jī)ⅱ(17
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2)設(shè)置在底座(17
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1)內(nèi),底座(17
?
1)側(cè)面上設(shè)有儲(chǔ)存盒(17
?
4),底座(17
?
1)頂部設(shè)有向儲(chǔ)存盒(17
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4)方向傾斜的透明板(17
?
3)。
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體芯片分選機(jī),屬于芯片分選設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。包括機(jī)架、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座、擺臂、供料盤(pán)、收納盤(pán)、CCD相機(jī)Ⅰ、控制器;所述的機(jī)架中部通過(guò)安裝架設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座,轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座底部設(shè)有擺臂,擺臂與轉(zhuǎn)動(dòng)安裝座之間設(shè)有彈簧Ⅰ,擺臂端部設(shè)有吸盤(pán);所述的安裝架兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有下壓機(jī)構(gòu),安裝架兩側(cè)下方分別設(shè)有供料盤(pán)和收納盤(pán),供料盤(pán)和收納盤(pán)底部分別設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述的安裝架上設(shè)有用于對(duì)供料盤(pán)進(jìn)行拍照的CCD相機(jī)Ⅰ。采用CCD相機(jī)對(duì)供料盤(pán)上雜亂擺放的芯片的位置進(jìn)行定位和檢測(cè),然后將符合要求的芯片選出,并有序擺放到供料盤(pán)上,有效提高了芯片分選效率,節(jié)省勞動(dòng)力,提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。果的準(zhǔn)確性。果的準(zhǔn)確性。
技術(shù)研發(fā)人員:甘寧 黃榮獲 黃光董
受保護(hù)的技術(shù)使用者:珠海市??浦沁_(dá)精密設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2020.12.24
技術(shù)公布日:2021/11/5
聲明:
“半導(dǎo)體芯片分選機(jī)的制作方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)