權(quán)利要求

1.一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟一、準備單質(zhì)鋁、鉻及輔助合金元素的粉末原料;所述輔助合金元素為硼、鎢或硅，且粉末原料中鋁、鉻、輔助合金元素的原子百分比分別為50%~70%、20%~40%以及不超過10%;

步驟二、將步驟一中準備的粉末原料在氬氣保護下混合均勻，得到混合粉末;

步驟三、在氫氬混合氣氛下，將步驟二得到的混合粉末進行還原和烘干處理;

步驟四、將步驟三中還原和烘干處理后的混合粉末均勻鋪于石墨模具中，然后置于SPS燒結(jié)爐中抽真空，采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)，得到燒結(jié)坯料;

步驟五、將燒結(jié)坯料進行包覆熱軋及退火處理，獲得鋁鉻合金靶材坯料;

步驟六、將步驟五中獲得的鋁鉻合金靶材坯料進行機加工、校直、真空退火及清洗處理，得到鋁鉻合金靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟一中所述鋁粉末的粒徑不大于180目，且質(zhì)量純度為99.99%以上，所述鉻粉末、輔助合金元素粉末的粒徑均不大于325目，且質(zhì)量純度均大于99%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟二中所述混合均勻的工藝為采用V型混粉機充氬氣保護混合2h~5h。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟三中所述烘干處理的溫度為200℃~300℃，時間為2h~4h。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟四中所述采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)的工藝為：第一梯度：無壓加熱至100℃~200℃保溫5min~10min;第二梯度：加壓至10MPa~15MPa，加壓的同時繼續(xù)升溫至400℃~450℃保溫2min~5min;第三梯度：再次加壓至40MPa~50MPa，隨后升溫至溫度500℃~580℃，保溫5min~30min后完成燒結(jié);第四梯度：關(guān)閉加熱電源，將壓力調(diào)至第三梯度加壓后壓力的1/2~2/3，待冷卻到室溫，再卸壓至零，得到燒結(jié)坯料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟五中所述包覆熱軋的工藝為：將燒結(jié)坯料采用鐵皮包覆后進行軋制，軋制溫度為660℃~700℃，總變形量不大于30%，且每道次下壓量不超過總變形量的1/4，熱軋后空冷至室溫。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟五中所述退火的工藝為：將包覆熱軋后的燒結(jié)坯料到溫入爐，退火溫度為200℃~300℃，保溫時間為1h~2h，退火后空冷至室溫。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟六中所述鋁鉻合金靶材的金相組織包括鋁基體及均勻分布的鋁鉻相，平均晶粒尺寸不超過50μm，鋁鉻合金靶材的質(zhì)量純度為99.9%以上，氧含量低于100ppm，整體致密度均勻、無內(nèi)外偏差。

說明書

技術(shù)領(lǐng)域

[0001]本發(fā)明涉及靶材制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法。

背景技術(shù)

[0002]自20世紀60年代以來，在高強、高韌的硬質(zhì)合金表面涂覆硬質(zhì)涂層是獲得穩(wěn)定、耐用切削刀具的最有效方法。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，硬質(zhì)涂層首先經(jīng)歷了從二元TiN到三元AlTiN的發(fā)展，且逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)镃rN和AlCrN。大量研究和工業(yè)應用發(fā)現(xiàn)：AlCrN涂層的抗氧化性能優(yōu)于AlTiN涂層，其抗氧化溫度可以達到900℃，使得AlCrN成為目前廣泛應用的硬質(zhì)涂層。實際生產(chǎn)應用中，AlCrN涂層由AlCr靶材在氮氣中濺射沉積所得，可作為機械加工中鉆頭、銑刀、齒輪刀等刀具的氮化物涂層，使得刀具擁有優(yōu)異的耐熱與抗氧化特性，提高刀具的切削性能和使用壽命。

[0003]為進一步滿足現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)對超高強度、超高硬度零部件的高精度、高效率及低成本的機加工需求，硬質(zhì)涂層逐漸向多元化、納米化的方向發(fā)展。大量研究發(fā)現(xiàn)：在AlCrN涂層中摻雜合金元素B、Si、W等，可以平衡涂層的硬度、抗氧化溫度以及潤滑性等性能，降低涂層的應力，同時可以減少濺射鍍膜過程中液滴的產(chǎn)生，進而提高鍍膜效率和膜層質(zhì)量，這就使得AlCrX(X=Si、W、B)三元合金靶材成為當前硬質(zhì)涂層用靶材發(fā)展的主要方向之一。

[0004]研究制備性能優(yōu)異的AlCrX(X=Si、W、B)靶材是獲得高品質(zhì)涂層的前提。從理論上分析：第一、鋁熔點為660℃，鉻熔點為1857℃，硼熔點為2076℃，硅熔點為1410℃，鎢熔點為3410℃，三者(Al、Cr、X(X=Si、W、B))熔點差異較大;第二、主要元素鋁和鉻之間的固溶很低，在600℃時，鉻在鋁中的固溶度僅為0.8wt.%，室溫基本不溶解，其平衡組織由鋁基體和大量的硬脆鋁鉻金屬間化合物及其他相組成，無法通過預合金化的方式降低各成分之間的熔點差異，進而縮短燒結(jié)時間和提高冶金質(zhì)量;第三、鋁鉻在合金化反應過程中放熱膨脹，極易帶來氣孔等缺陷，無法滿足靶材的使用要求，這均提高了鋁鉻靶材的制備難度。

[0005]目前鋁鉻合金靶材通常的制備方法主要有三種：第一種是常規(guī)燒結(jié)法，這種方法制備出的靶材致密度很低，遠達不到靶材致密度≥99%的要求，這也是該方法的致命缺點;第二種是真空熱壓燒結(jié)法，該方法制備鋁鉻合金靶材的燒結(jié)時間可以長達數(shù)十小時，嚴重影響生產(chǎn)效率和質(zhì)量穩(wěn)定性，且由于長時間燒結(jié)易引起氧含量的增加;同時該方法所制備靶材的相對密度不均勻，主要體現(xiàn)在中心和邊緣位置的差異;第三種是熱等靜壓法，該方法是國內(nèi)外所普遍采用的，但其制備周期較長，設(shè)備昂貴，燒結(jié)成本高。

發(fā)明內(nèi)容

[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法。該方法采用梯度加熱、加壓的SPS燒結(jié)工藝，極大縮短制備周期，有效保證了良好的合金化效果，獲得合金化完全、組織均勻致密的鋁鉻合金靶材坯料，且避免長時間燒結(jié)造成晶粒長大和氧含量增加的問題，結(jié)合包覆熱軋及退火工藝，消除了SPS單軸壓力引起密度均勻性差的問題，進一步細化晶粒、提高組織均勻性，獲得高品質(zhì)的鋁鉻合金靶材，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的燒結(jié)時間長、成本高、致密度不均勻等問題。

[0007]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟一、準備單質(zhì)鋁、鉻及輔助合金元素的粉末原料;所述輔助合金元素為硼、鎢或硅，且粉末原料中鋁、鉻、輔助合金元素的原子百分比分別為50%~70%、20%~40%以及不超過10%;

步驟二、將步驟一中準備的粉末原料在氬氣保護下混合均勻，得到混合粉末;

步驟三、在氫氬混合氣氛下，將步驟二得到的混合粉末進行還原和烘干處理;

步驟四、將步驟三中還原和烘干處理后的混合粉末均勻鋪于石墨模具中，然后置于SPS燒結(jié)爐中抽真空，采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)，得到燒結(jié)坯料;

步驟五、將燒結(jié)坯料進行包覆熱軋及退火處理，獲得鋁鉻合金靶材坯料;

步驟六、將步驟五中獲得的鋁鉻合金靶材坯料進行機加工、校直、真空退火及清洗處理，得到鋁鉻合金靶材。

[0008]上述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟一中所述鋁粉末的粒徑不大于180目，且質(zhì)量純度為99.99%以上，所述鉻粉末、輔助合金元素粉末的粒徑均不大于325目，且質(zhì)量純度均大于99%。本發(fā)明采用小尺寸的輔助合金元素粉末，有利于縮短合金化時間;同時，采用高純度的鋁粉末與稍低純度的輔助合金元素粉末組合，不僅可以滿足鋁鉻合金靶材的純度要求，同時顯著降低原料成本。

[0009]上述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟二中所述混合均勻的工藝為采用V型混粉機充氬氣保護混合2h~5h。

[0010]上述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟三中所述烘干處理的溫度為200℃~300℃，時間為2h~4h。在該溫度下進行烘干，使得氫氣和水、氧等得以較充分的反應而去除，避免溫度過高或過低導致靶坯產(chǎn)生氣孔或氧含量增加;同時，本發(fā)明將混合粉末進行氫氬混合氣氛的烘干處理，達到除濕排氣的效果，有利于提高鋁鉻合金靶材致密度，降低氧含量，提高成品率。

[0011]上述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟四中所述采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)的工藝為：第一梯度：無壓加熱至100℃~200℃保溫5min~10min;第二梯度：加壓至10MPa~15MPa，加壓的同時繼續(xù)升溫至400℃~450℃保溫2min~5min;第三梯度：再次加壓至40MPa~50MPa，隨后升溫至溫度500℃~580℃，保溫5min~30min后完成燒結(jié);第四梯度：關(guān)閉加熱電源，將壓力調(diào)至第三梯度加壓后壓力的1/2~2/3，待冷卻到室溫，再卸壓至零，得到燒結(jié)坯料。本發(fā)明采用梯度加熱、加壓的SPS燒結(jié)工藝，有利于提高鋁鉻合金靶材的組織致密度和合金化效果，避免溫度太高或太低使得鋁鉻合金化反應太快及不充分，導致致密度下降;燒結(jié)結(jié)束后的保壓降溫不僅有利于提高致密度，避免鋁基體和鋁鉻化合物等的收縮不一致，降低產(chǎn)品致密度;同時，加壓降溫過程中壓頭和模具的直接接觸有利于提高降溫速度，提高生產(chǎn)效率。

[0012]上述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟五中所述包覆熱軋的工藝為：將燒結(jié)坯料采用鐵皮包覆后進行軋制，軋制溫度為660℃~700℃，總變形量不大于30%，且每道次下壓量不超過總變形量的1/4，熱軋后空冷至室溫。在該軋制溫度下，鋁鉻合金具有良好的變形能力，保證變形的順利進行，避免溫度過高和過低導致鋁鉻合金靶材坯料出現(xiàn)液相或開裂等現(xiàn)象;同時，該熱變形工藝有效平衡坯料中心和邊緣位置致密度差異，且30%以內(nèi)的軋制總變形量完全可以滿足要求，使得坯料中心和邊緣的致密度保持一致。

[0013]上述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟五中所述退火的工藝為：將包覆熱軋后的燒結(jié)坯料到溫入爐，退火溫度為200℃~300℃，保溫時間為1h~2h，退火后空冷至室溫。

[0014]所述述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟六中所述鋁鉻合金靶材的金相組織包括鋁基體及均勻分布的鋁鉻相，平均晶粒尺寸不超過50μm，鋁鉻合金靶材的質(zhì)量純度為99.9%以上，氧含量低于100ppm，整體致密度均勻、無內(nèi)外偏差。該高品質(zhì)的鋁鉻合金靶材有利于獲得高質(zhì)量的硬質(zhì)涂層薄膜。

[0015]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點：

1、本發(fā)明采用梯度SPS等離子放電燒結(jié)工藝，一方面顯著縮短燒結(jié)制備時間，同時氫氬混合氣氛還原、梯度燒結(jié)中第一梯度的無壓升溫加熱促使氣體排除，顯著降低鋁鉻合金靶材中O、N等氣體含量，從而有效提升其強度。

[0016]2、本發(fā)明采用梯度SPS等離子放電燒結(jié)工藝，一方面顯著縮短燒結(jié)制備時間，同時氫氬混合氣氛還原、梯度燒結(jié)中第二梯度的低壓低溫燒結(jié)促使鋁鉻預合金化過程中的熱量排出，避免合金化反應劇烈產(chǎn)生大量熱無法排出，導致坯料致密度下降、甚至出現(xiàn)氣孔，從而提高了鋁鉻合金靶材的致密度。

[0017]3、本發(fā)明采用梯度SPS等離子放電燒結(jié)工藝，一方面顯著縮短燒結(jié)制備時間，同時氫氬混合氣氛還原、梯度燒結(jié)中第四梯度的保壓降溫使得鋁鉻合金保持高的致密度，避免在降溫過程中鋁基體和鋁鉻化合物的收縮不一致，導致靶坯致密度下降，甚至產(chǎn)生氣孔，進一步提高了鋁鉻合金靶材的致密度。

[0018]4、本發(fā)明通過對SPS等離子燒結(jié)獲得的燒結(jié)坯料進行包覆熱軋和退火處理，平衡了燒結(jié)坯料中心和邊緣位置的致密度差異，消除SPS單軸壓力帶來的弊端，提高了鋁鉻合金靶材的密度均勻性。

[0019]5、本發(fā)明采用SPS放電等離子燒結(jié)、熱塑性變形及退火的組合工藝，替代傳統(tǒng)的熱等靜壓工藝，極大降低了熱等靜壓設(shè)備采購等生產(chǎn)成本，實現(xiàn)了高效、低成本鋁鉻靶材的制備。

[0020]下面通過附圖和實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案作進一步的詳細描述。

附圖說明

[0021]圖1為本發(fā)明實施例1制備的鋁鉻合金靶材坯料的實物圖。

[0022]圖2為本發(fā)明實施例1制備的鋁鉻合金靶材的實物圖。

[0023]圖3為本發(fā)明實施例1制備的鋁鉻合金靶材的金相組織圖。

具體實施方式

[0024]實施例1

本實施例包括以下步驟：

步驟一、準備單質(zhì)鋁、鉻及硼粉末原料;所述粉末原料中鋁、鉻、硼的原子百分比分別為53%、40%以及7%;所述鋁粉末的粒徑為180目，且質(zhì)量純度為99.992%，所述鉻粉末、硼粉末的粒徑均為325目，且質(zhì)量純度均為99.1%;

步驟二、將步驟一中準備的粉末原料采用V型混粉機充氬氣保護混合3h，得到混合粉末;

步驟三、在氫氬混合氣氛下，將步驟二得到的混合粉末在230℃保溫3.2h進行還原和烘干處理;

步驟四、將步驟三中還原和烘干處理后的混合粉末均勻鋪于石墨模具中，然后置于SPS燒結(jié)爐中抽真空，采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)：第一梯度：無壓加熱至200℃保溫5min;第二梯度：加壓至15MPa，加壓的同時繼續(xù)升溫至450℃保溫2min;第三梯度：再次加壓至50MPa，隨后升溫至溫度580℃，保溫5min后完成燒結(jié);第四梯度：關(guān)閉加熱電源，將壓力調(diào)至30MPa，待冷卻到室溫，再卸壓至零，得到燒結(jié)坯料，得到燒結(jié)坯料;

步驟五、將燒結(jié)坯料采用鐵皮包覆，在700℃保溫10min后進行熱軋，總變形量為20%，分四道次完成，且每道次下壓量為5%左右，空冷至室溫，然后到溫入爐，在200℃保溫2h進行退火處理，空冷至室溫，獲得鋁鉻合金靶材坯料;

步驟六、將步驟五中獲得的鋁鉻合金靶材坯料進行機加工、校直、真空退火及清洗處理，得到鋁鉻合金靶材。

[0025]圖1為本實施例制備的鋁鉻合金靶材坯料的實物圖，圖2為本實施例制備的鋁鉻合金靶材的實物圖，圖3為本實施例制備的鋁鉻合金靶材的金相組織圖，從圖1~圖3可以看出，本發(fā)明方法制備的鋁鉻合金靶材無裂紋、無氣孔，內(nèi)部組織包括鋁基體及均勻分布的鋁鉻金屬間化合物相，平均晶粒尺寸為48μm，鋁鉻合金靶材的質(zhì)量純度為99.93%以上，氧含量為83ppm，致密度大于99%，整體致密度均勻、無內(nèi)外偏差，適宜作為高品質(zhì)的硬質(zhì)涂層靶材。

[0026]對比例1

本對比例包括以下步驟：

步驟一、準備單質(zhì)鋁、鉻及硼粉末原料;所述粉末原料中鋁、鉻、硼的原子百分比分別為53%、40%以及7%;所述鋁粉末的粒徑為180目，且質(zhì)量純度為99.992%，所述鉻粉末、硼粉末的粒徑均為325目，且質(zhì)量純度均為99.1%;

步驟二、將步驟一中準備的粉末原料采用V型混粉機充氬氣保護混合3h，得到混合粉末;

步驟三、在氫氬混合氣氛下，將步驟二得到的混合粉末在230℃保溫3.2h進行還原和烘干處理;

步驟四、將步驟三中還原和烘干處理后的混合粉末均勻鋪于石墨模具中，然后置于SPS燒結(jié)爐中抽真空，采用一次加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)：先加壓至50MPa，隨后一次升溫至580℃保溫5min完成燒結(jié)，得到燒結(jié)坯料;

步驟五、將燒結(jié)坯料采用鐵皮包覆，在700℃保溫10min后進行熱軋，總變形量為20%，分四道次完成，且每道次下壓量為5%左右，空冷至室溫，然后到溫入爐，在200℃保溫2h進行退火處理，空冷至室溫，獲得鋁鉻合金靶材坯料;

步驟六、將步驟五中獲得的鋁鉻合金靶材坯料進行機加工、校直、真空退火及清洗處理，得到鋁鉻合金靶材。

[0027]經(jīng)檢測，本對比例制備的靶材存在大量的氣孔，其致密度僅有97.2%，不具備使用性能。

[0028]實施例2

本實施例包括以下步驟：

步驟一、準備單質(zhì)鋁、鉻及鎢粉末原料;所述粉末原料中鋁、鉻、鎢的原子百分比分別為63%、27%以及10%;所述鋁粉末的粒徑為150目，且質(zhì)量純度為99.995%，所述鉻粉末、鎢粉末的粒徑均為350目，且質(zhì)量純度均為99.3%;

步驟二、將步驟一中準備的粉末原料采用V型混粉機充氬氣保護混合5h，得到混合粉末;

步驟三、在氫氬混合氣氛下，將步驟二得到的混合粉末在210℃保溫4h進行還原和烘干處理;

步驟四、將步驟三中還原和烘干處理后的混合粉末均勻鋪于石墨模具中，然后置于SPS燒結(jié)爐中抽真空，采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)：第一梯度：無壓加熱至100℃保溫4min;第二梯度：加壓至12MPa，加壓的同時繼續(xù)升溫至400℃保溫5min;第三梯度：再次加壓至48MPa，隨后升溫至溫度500℃，保溫30min后完成燒結(jié);第四梯度：關(guān)閉加熱電源，將壓力調(diào)至32MPa，待冷卻到室溫，再卸壓至零，得到燒結(jié)坯料，得到燒結(jié)坯料;

步驟五、將燒結(jié)坯料采用鐵皮包覆，在660℃保溫25min后進行熱軋，總變形量為30%，分六道次完成，且每道次下壓量為5%左右，空冷至室溫，然后到溫入爐，在300℃保溫1h進行退火處理，空冷至室溫，獲得鋁鉻合金靶材坯料;

步驟六、將步驟五中獲得的鋁鉻合金靶材坯料進行機加工、校直、真空退火及清洗處理，得到鋁鉻合金靶材。

[0029]經(jīng)檢測，本實施例制備的鋁鉻合金靶材無裂紋、無氣孔，內(nèi)部組織包括鋁基體及均勻分布的鋁鉻金屬間化合物相，平均晶粒尺寸為46μm，鋁鉻合金靶材的質(zhì)量純度為99.96%以上，氧含量為98ppm，致密度大于99%，整體致密度均勻、無內(nèi)外偏差，適宜作為高品質(zhì)的硬質(zhì)涂層靶材。

[0030]實施例3

本實施例包括以下步驟：

驟一、準備單質(zhì)鋁、鉻及硅粉末原料;所述粉末原料中鋁、鉻、硅的原子百分比分別為70%、22%以及8%;所述鋁粉末的粒徑為120目，且質(zhì)量純度為99.994%，所述鉻粉末、硅粉末的粒徑均為380目，且質(zhì)量純度均為99.8%;

步驟二、將步驟一中準備的粉末原料采用V型混粉機充氬氣保護混合2h，得到混合粉末;

步驟三、在氫氬混合氣氛下，將步驟二得到的混合粉末在300℃保溫2h進行還原和烘干處理;

步驟四、將步驟三中還原和烘干處理后的混合粉末均勻鋪于石墨模具中，然后置于SPS燒結(jié)爐中抽真空，采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)：第一梯度：無壓加熱至140℃保溫8min;第二梯度：加壓至10MPa，加壓的同時繼續(xù)升溫至420℃保溫3min;第三梯度：再次加壓至40MPa，隨后升溫至溫度550℃，保溫20min后完成燒結(jié);第四梯度：關(guān)閉加熱電源，將壓力調(diào)至25MPa，待冷卻到室溫，再卸壓至零，得到燒結(jié)坯料，得到燒結(jié)坯料;

步驟五、將燒結(jié)坯料采用鐵皮包覆，在670℃保溫18min后進行熱軋，總變形量為18%，分四道次完成，且每道次下壓量為5%左右，空冷至室溫，然后到溫入爐，在240℃保溫1.5h進行退火處理，空冷至室溫，獲得鋁鉻合金靶材坯料;

步驟六、將步驟五中獲得的鋁鉻合金靶材坯料進行機加工、校直、真空退火及清洗處理，得到鋁鉻合金靶材。

[0031]經(jīng)檢測，本實施例制備的鋁鉻合金靶材無裂紋、無氣孔，內(nèi)部組織包括鋁基體及均勻分布的鋁鉻金屬間化合物相，平均晶粒尺寸為50μm，鋁鉻合金靶材的質(zhì)量純度為99.96%以上，氧含量為98ppm，致密度大于99%，整體致密度均勻、無內(nèi)外偏差，適宜作為高品質(zhì)的硬質(zhì)涂層靶材。

[0032]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例，并非對本發(fā)明作任何限制。凡是根據(jù)發(fā)明技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效變化，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護范圍內(nèi)。

說明書附圖(3)