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基于MoN的SNS約瑟夫森結及其制備方法

1015 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 15:02:31

本發(fā)明提供一種基于MoN的SNS約瑟夫森結及其制備方法，該基于MoN的SNS約瑟夫森結的制備方法包括以下步驟，提供一襯底，于襯底上形成層疊的NbN底層膜、MoN勢壘層及NbN頂層膜的功能材料層，其中，采用直流反應磁控濺射法形成MoN勢壘層，刻蝕功能材料層以形成底電極、MoN結勢壘層及頂電極，并形成覆蓋底電極、MoN結勢壘層及頂電極顯露表面的隔離層，于隔離層上形成第一接觸孔及第二接觸孔，并形成覆蓋隔離層及填充第一接觸孔與第二接觸孔的配線層，刻蝕配線層以形成第一配線部及第二配線部。本發(fā)明通過采用直流反應磁控濺射的方法形成MoN勢壘層，得到電阻率穩(wěn)定的MoN勢壘層，提升了約瑟夫森結的質量。

聲明：

“基于MoN的SNS約瑟夫森結及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)