一種光敏聚酰亞胺及其制備方法，屬于感光耐熱 高分子功能材料。所述PSPI的主要成份的重復(fù)結(jié)構(gòu)單元結(jié)構(gòu) 式為：(見圖)其中，聚合度n＝1－200； Ar1為芳香酮化合物； Ar2為苯環(huán)或萘環(huán)；R為鄰位上含 烷基、烷氧基或甲硫基的苯環(huán)；R′為α、β不飽和酮基或取 代α、β不飽和酮基。以苯環(huán)鄰位上含烷基、烷氧基或甲硫基 的光敏性二胺和含丙烯酰基的光敏性二胺為原料，將四羧酸二 酐有機(jī)溶液緩慢滴入光敏性二胺混合溶液進(jìn)行聚合，再通過化 學(xué)亞胺化得到所述PSPI。該類聚合物是一種結(jié)構(gòu)型與自增感型 結(jié)合的PSPI，分子結(jié)構(gòu)中含有兩種能夠發(fā)生光交聯(lián)反應(yīng)的光敏 活性基團(tuán)，具有更高的光敏性和分辨率，優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和溶 解性，光刻成形后膜的收縮率極小，在光刻工藝中有著廣泛的 應(yīng)用前景。