本發(fā)明公開了一種GaN基
光伏探測器器件結(jié)構(gòu)的電子學(xué)檢測方法,該方法是通過測量導(dǎo)電探針與器件結(jié)構(gòu)剖面以及上表面的電位差并進(jìn)行定標(biāo),得出器件結(jié)構(gòu)的表面能帶分布;再對得到的表面能帶分布進(jìn)行數(shù)值擬合,給出所測臺面器件結(jié)構(gòu)的表面電荷密度分布、表面及體內(nèi)的電場分布等信息。本方法可以對GaN基光伏型探測器件
功能材料各個區(qū)域的電子學(xué)分布特性給予直觀的評估;對于改善GaN基光伏探測器件性能和優(yōu)化器件設(shè)計(jì)都有重要價值。
聲明:
“GaN基光伏探測器器件結(jié)構(gòu)的電子學(xué)檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)