一種薄膜磁電
復(fù)合材料及其制備方法,屬于磁性
功能材料及制備技術(shù)領(lǐng)域。磁電復(fù)合材料特征在于:由磁致伸縮薄膜層、導(dǎo)電薄膜層和壓電陶瓷襯底復(fù)合而成。制備方法是在做好電極的壓電襯底上采用物理氣相沉積(PVD)技術(shù)沉積一層磁致伸縮薄膜。該磁電復(fù)合材料界面復(fù)合強(qiáng)度高、結(jié)構(gòu)簡單、有效避免了鐵電鐵磁兩相間的相反應(yīng),具有良好的磁電轉(zhuǎn)換系數(shù),高頻渦流損耗小、性能穩(wěn)定、尺寸輕薄,非常適合制備微型傳感器件。此外,該制備方法簡單可行、成本低廉,克服了層疊磁電復(fù)合材料及傳統(tǒng)薄膜磁電復(fù)合材料制備工藝復(fù)雜、成本高等缺點(diǎn)。
聲明:
“薄膜磁電復(fù)合材料及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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