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高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法

743   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-18 15:05:01
本發(fā)明公開了一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法,屬于化學功能材料領域。該制備方法以三異丙醇氧釩為溶質制備前驅液,將所得前驅液涂于藍寶石襯底制備前驅物薄膜,最后將前驅物薄膜置于真空環(huán)境中燒制而成。本發(fā)明在液相法的基礎上,通過控制真空燒結條件制備二氧化釩薄膜,所獲得的薄膜均具有良好的生長取向,相變溫度為60℃左右,相變前后電阻率的變化在三個量級以上;且制備工藝簡單,適合大范圍推廣。
聲明:
“高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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