本發(fā)明提供了一種鈮酸鎂單晶納米片及其制備方法和應(yīng)用,屬于
功能材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明采用化學(xué)氣相傳輸法結(jié)合氟金云母片的空間限域作用,并利用氟金云母片本身提供MgO前驅(qū)體,成功制備得到了鈮酸鎂單晶納米片,且厚度均勻,表面平整,結(jié)晶性好,可以很好地運(yùn)用于二維場(chǎng)效應(yīng)晶體管的柵極絕緣層,提高晶體管中的載流子遷移率,進(jìn)而提升器件性能。
聲明:
“鈮酸鎂單晶納米片及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)